Mar gheall ar úsáid leathan ábhar sprice i ngairmeacha éagsúla tá an t-éileamh ar ábhar sprice níos airde agus níos airde. Seo a leanas Déanfaimid a thabhairt isteach go hachomair leat cad é príomhriachtanais fheidhmiúla an sprice, hoping chun cabhrú leat.
Íonacht: Tá íonacht ar cheann de na táscairí feidhmiúla príomhúla den sprioc, toisc go bhfuil tionchar mór ag íonacht an sprioc ar fheidhm an scannáin. Ach i gcleachtas, níl íonacht an sprioc-ábhar mar an gcéanna. Mar shampla, le fás tapa ghairm na micrileictreonaic, tá an méid wafer sileacain forbartha ó 6 ", 8" go 12 ", agus tá an leithead sreangú laghdú ó 0.5um go 0.25um, 0.18um agus fiú 0.13um. Chomh luath agus is féidir le 99.995% den íonacht sprioc freastal ar riachtanais teicneolaíochta 0.35UMIC. Éilíonn ullmhú líne 0.18um 99.999% nó fiú 99.9999% íonacht an sprioc-ábhar.
Dlús: D'fhonn an porosity sa sprioc soladach a laghdú agus feidhm an scannáin sputtering a fheabhsú, de ghnáth is gá go mbeadh dlús ard ag an sprioc. Bíonn tionchar ag an spriocdhlús ní hamháin ar an ráta sputtering ach freisin ar airíonna leictreacha agus optúla na scannán. Dá airde an spriocdhlús, is amhlaidh is fearr feidhm an scannáin. Ina theannta sin, méadaíodh dlús agus neart an ábhair sprice chun é a dhéanamh níos fearr in ann an strus teirmeach a sheasamh le linn sputtering. Tá dlús ar cheann de na táscairí feidhmiúla tábhachtacha de spriocshubstaintí freisin.
Ábhar eisíontais: is iad neamhíonachtaí sa sprioc soladach agus ocsaigine agus gal uisce sna pores na príomhfhoinsí truaillithe de na scannáin carntha. Mar shampla, tá ceanglais speisialta ag spriocanna cóimhiotal alúmanaim agus alúmanaim íon a úsáidtear sa tionscal leathsheoltóra maidir le hábhar miotail alcaile agus ábhar eilimint radaighníomhach.
Am postála: Jun-06-2022