Tá ceanglais ard ag spriocábhair sputtered le linn úsáide, ní hamháin le haghaidh íonachta agus méid na gcáithníní, ach freisin le haghaidh méid na gcáithníní aonfhoirmeach. Déanann na ceanglais ard seo aird níos mó a thabhairt dúinn nuair a bhíonn spriocábhair sputtering á n-úsáid againn.
1. Ullmhúchán sputtering
Tá sé an-tábhachtach glaineacht an tseomra folúis a chothabháil, go háirithe an córas sputtering. Is féidir le bealaí, deannach, agus aon iarmhar ó bhratuithe roimhe seo truailleáin a charnadh mar uisce, a dhéanann difear díreach don bhfolús agus an dóchúlacht go dtarlóidh teip foirmithe scannáin a mhéadú. Is gnách go mbíonn ciorcaid ghearr, stuaáil sprice, dromchlaí garbha foirmithe scannáin, agus eisíontais cheimiceacha iomarcacha de bharr seomraí sputtering neamhghlan, gunnaí agus spriocanna.
D'fhonn tréithe comhdhéanamh na sciath a choinneáil, ní mór don ghás sputtering (argón nó ocsaigin) a bheith glan agus tirim. Tar éis an tsubstráit a shuiteáil sa seomra sputtering, is gá aer a bhaint astu chun an leibhéal folúis riachtanach a bhaint amach don phróiseas.
2. Glanadh sprioc
Is é cuspóir an ghlanadh sprice ná aon deannach nó salachar a d'fhéadfadh a bheith ann ar dhromchla an sprice a bhaint.
3. Suiteáil Sprioc
Is é an rud is tábhachtaí ar chóir aird a thabhairt air le linn phróiseas suiteála an ábhair sprioc ná nasc teirmeach maith a chinntiú idir an spriocábhar agus balla fuaraithe an gunna sputtering. Má tá an balla fuaraithe nó an pláta ar ais warped go mór, féadfaidh sé a bheith ina chúis le scoilteadh nó lúbadh le linn shuiteáil an ábhair sprice. Cuirfear isteach go mór ar an aistriú teasa ón gcúl-sprioc go dtí an sprioc-ábhar, rud a fhágann nach féidir teas a scaipeadh le linn sputtering, rud a fhágann go mbeidh scoilteadh nó imeacht an ábhair sprice.
4. Ciorcad gearr agus cigireacht séalaithe
Tar éis an t-ábhar sprioc a shuiteáil, is gá ciorcad gearr agus séalaithe an chatóid iomláin a sheiceáil. Moltar ohmmeter agus megohmmeter a úsáid chun a chinneadh an bhfuil ciorcad gearr ag an gcatóid. Tar éis a dhearbhú nach bhfuil an catóide gearrchiorcad, is féidir braite sceite a dhéanamh trí uisce a instealladh isteach sa chatóid chun a chinneadh an bhfuil aon sceitheadh ann.
5. Ábhar sprioc roimh sputtering
Moltar gás argón íon a úsáid chun an spriocábhar a sputtering roimh ré, ar féidir leis dromchla an ábhair sprice a ghlanadh. Moltar an chumhacht sputtering a mhéadú go mall le linn an phróisis réamh-sputtering don spriocábhar. Cumhacht an sprioc-ábhar ceirmeach
Am postála: Oct-19-2023