Úsáidtear spriocábhair Niobium go príomha i sciath optúil, sciath ábhar innealtóireachta dromchla, agus tionscail sciath ar nós friotaíocht teasa, friotaíocht creimeadh, agus seoltacht ard. I réimse na sciath optúla, cuirtear i bhfeidhm go príomha i dtáirgí optúla oftalmacha, lionsaí, optaic bheachtais, sciath limistéar mór, sciath 3D, agus gnéithe eile.
Tugtar sprioc lom ar an spriocábhar niobium de ghnáth. Tá sé táthaithe ar dtús leis an sprioc ais copair, agus ansin sputtered chun adaimh niobium a thaisceadh i bhfoirm ocsaídí ar ábhar an tsubstráit, ag baint amach sciath sputtering. Le doimhniú agus leathnú leanúnach na teicneolaíochta sprioc niobium agus cur i bhfeidhm, tá méadú tagtha ar na ceanglais maidir le haonfhoirmeacht micreastruchtúr sprioc niobium, a léirítear go príomha i dtrí ghné: mionchoigeartú gráin, gan aon treoshuíomh uigeachta soiléir, agus íonacht cheimiceach feabhsaithe.
Tá dáileadh aonfhoirmeach na micristruchtúr agus na n-airíonna ar fud na sprice ríthábhachtach chun feidhmíocht sputtering na n-ábhar niobium a chinntiú. Is gnách go dtaispeánann dromchla na spriocanna niobium a fhaightear i dtáirgeadh tionsclaíoch patrúin rialta, rud a chuireann isteach go mór ar fheidhmíocht sputtering na spriocanna. Conas is féidir linn ráta úsáide na spriocanna a fheabhsú?
Trí thaighde, fuarthas amach go bhfuil ábhar eisíontais (sprioc íonachta) ina fhachtóir tábhachtach a dhéanann difear don íonacht. Tá comhdhéanamh ceimiceach na n-amhábhar míchothrom, agus saibhrítear neamhíonachtaí. Tar éis próiseáil rollta níos déanaí, déantar patrúin rialta a fhoirmiú ar dhromchla an sprioc-ábhar niobium; Is féidir deireadh a chur le dáileadh míchothrom na gcomhpháirteanna amhábhar agus saibhriú eisíontais foirmiú patrúin rialta ar dhromchla spriocanna niobium a sheachaint. Is féidir le tionchar méid gráin agus comhdhéanamh struchtúrach ar an spriocábhar a bheith beagnach neamhbhríoch.
Am postála: Meitheamh-19-2023