Éilíonn an t-ábhar sprioc a úsáidtear sa tionscal stórála sonraí ard-íonacht, agus ní mór neamhíonachtaí agus pores a íoslaghdú chun giniúint cáithníní eisíontais le linn sputtering a sheachaint. Éilíonn an t-ábhar sprioc a úsáidtear le haghaidh táirgí ardchaighdeáin go gcaithfidh a mhéid cáithníní criostail a bheith beag agus aonfhoirmeach, agus gan aon treoshuíomh criostail. Anseo thíos, déanaimis féachaint ar riachtanais an tionscail stórála optúla don ábhar sprice?
1. Íonachta
In iarratais phraiticiúla, athraíonn íonacht na sprioc-ábhar de réir tionscail agus riachtanais éagsúla. Mar sin féin, ar an iomlán, dá airde an íonacht an sprioc-ábhar, is amhlaidh is fearr ar fheidhmíocht an scannáin sputtered. Mar shampla, sa tionscal stórála optúla, is gá go mbeadh íonacht an sprioc-ábhar níos mó ná 3N5 nó 4N
2. Ábhar eisíontais
Feidhmíonn an spriocábhar mar fhoinse catóide i sputtering, agus is iad neamhíonachtaí sa soladach agus gal ocsaigine agus uisce sna pores na príomhfhoinsí truaillithe chun scannáin tanaí a thaisceadh. Ina theannta sin, tá ceanglais speisialta ann maidir le spriocanna úsáidí éagsúla. Ag glacadh leis an tionscal stórála optúil mar shampla, ní mór an t-ábhar eisíontais i spriocanna sputtering a rialú an-íseal chun cáilíocht an sciath a chinntiú.
3. Méid gráin agus dáileadh méid
De ghnáth, tá struchtúr polycrystalline ag an sprioc-ábhar, agus tá méideanna gráin ag dul ó mhicriméadar go milliméadar. I gcás spriocanna a bhfuil an comhdhéanamh céanna acu, tá ráta sputtering na spriocanna gránghráin níos tapúla ná mar a bhíonn i spriocanna garbhghráin. Maidir le spriocanna le difríochtaí méid gráin níos lú, beidh tiús an scannáin taiscthe níos comhionann freisin.
4. Dlúth
D'fhonn porosity an sprioc-ábhar soladach a laghdú agus feidhmíocht scannáin a fheabhsú, ceanglaítear go ginearálta go bhfuil dlús ard ag an ábhar sputtering sprioc. Braitheann dlús an ábhair sprice go príomha ar an bpróiseas ullmhúcháin. Is féidir leis an spriocábhar a mhonaraítear trí mhodh leá agus réitigh a chinntiú nach bhfuil aon phiocháin taobh istigh den spriocábhar agus go bhfuil an dlús an-ard.
Am postála: Jul-18-2023