Ní mór dúinn a bheith an-eolach ar an sprioc anois, anois tá an spriocmhargadh ag méadú freisin, seo a leanas cad é an príomhfheidhmíocht sputtering target roinnte ag eagarthóir ó RSM
An íonacht
Tá íonacht an ábhair sprice ar cheann de na príomh-innéacsanna feidhmíochta, toisc go bhfuil tionchar mór ag íonacht an ábhair sprice ar fheidhmíocht scannán tanaí. Mar sin féin, i gcur i bhfeidhm praiticiúil, níl ceanglais íonachta na sprioc-ábhar mar an gcéanna. Mar shampla, le forbairt go mear ar thionscal na micrileictreonaic, tá an méid sliseanna sileacain forbartha ó 6 ", 8" go 12 ", agus laghdaíodh an leithead sreangú ó 0.5um go 0.25um, 0.18um nó fiú 0.13um. Roimhe seo, is féidir le íonacht ábhar sprice 99.995% freastal ar riachtanais phróiseas 0.35umIC. Is é íonacht an sprioc-ábhar ná 99.999% nó fiú 99.9999% le haghaidh ullmhú línte 0.18um.
Ábhar eisíontais
Is iad na neamhíonachtaí sa spriocsholad agus an gal ocsaigine agus uisce sna pores na príomhfhoinsí truaillithe maidir le sil-leagan scannáin. Tá ceanglais dhifriúla ag ábhair sprice chun críocha éagsúla maidir le hábhar eisíontais éagsúla. Mar shampla, tá ceanglais speisialta ag spriocanna cóimhiotal alúmanaim agus alúmanaim íon a úsáidtear sa tionscal leathsheoltóra maidir le hábhar miotail alcaile agus eilimintí radaighníomhacha.
An dlús
D'fhonn an porosity sa sprioc soladach a laghdú agus feidhmíocht an scannáin sputtering a fheabhsú, de ghnáth is gá ard-dlús an sprioc. Bíonn tionchar ag dlús an sprioc ní hamháin ar an ráta sputtering ach freisin ar airíonna leictreacha agus optúla an scannáin. Dá airde an dlús sprice, is amhlaidh is fearr an fheidhmíocht scannáin. Ina theannta sin, le méadú ar dhlús agus neart na sprice déanann an sprioc an strus teirmeach a sheasamh níos fearr sa phróiseas sputtering. Tá dlús ar cheann de na príomh-innéacsanna feidhmíochta den sprioc freisin.
Méid gráin agus dáileadh méid gráin
Is gnách go mbíonn an sprioc polycrystalline le méid gráin ó mhicriméadar go milliméadar. Maidir leis an sprioc chéanna, tá an ráta sputtering an sprioc le grán beag níos tapúla ná an sprioc le grán mór. Tá dáileadh tiús na scannán a thaisceadh ag sputtering sputtering le difríocht mhéid gráin níos lú (dáileadh aonfhoirmeach) níos comhionann.
Am postála: Lúnasa-04-2022