Le feabhas a chur ar chaighdeáin mhaireachtála na ndaoine agus forbairt leanúnach na heolaíochta agus na teicneolaíochta, tá ceanglais níos airde agus níos airde ag daoine maidir le feidhmíocht táirgí sciath maisiúcháin resistant caitheamh-resistant, creimeadh-resistant agus ard-teocht. Ar ndóigh, is féidir leis an sciath beautify dath na rudaí seo freisin. Ansin, cad é an difríocht idir an chóireáil sprioc leictreaphlátála agus sputtering sprioc? Lig do shaineolaithe ó Roinn Teicneolaíochta RSM é a mhíniú duit.
Sprioc leictreaphlátála
Tá prionsabal an leictreaphlátála comhsheasmhach le prionsabal an chopair scagtha leictrealaíoch. Nuair a bhíonn leictreaphlátála, úsáidtear an leictrilít ina bhfuil ions miotail an chiseal plating go ginearálta chun an réiteach plating a ullmhú; An táirge miotail a thumadh chun a bheith plátáilte isteach sa tuaslagán plating agus é a nascadh le leictreoid dhiúltach an tsoláthair chumhachta DC mar an gcatóid; Úsáidtear an miotail brataithe mar anóid agus ceangailte le leictreoid dhearfach an tsoláthair cumhachta DC. Nuair a chuirtear an sruth DC íseal-voltais i bhfeidhm, tuaslagann an miotail anóid sa tuaslagán agus éiríonn sé ina chatóid agus bogann sé chuig an gcatóid. Faigheann na hiain seo leictreoin ag an gcatóid agus laghdaítear iad go miotail, atá clúdaithe ar na táirgí miotail atá le plátáil.
Sputtering Sprioc
Is é an prionsabal go príomha ná urscaoileadh glow a úsáid chun iain argón a thumadh ar an spriocdhromchla, agus déantar adaimh an sprice a dhíbirt agus a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit chun scannán tanaí a dhéanamh. Tá airíonna agus aonfhoirmeacht scannán sputtered níos fearr ná iad siúd atá ag scannáin thaisceadh gaile, ach tá luas an taiscthe i bhfad níos moille ná luas na scannán taiscthe gaile. Úsáideann trealamh sputtering nua beagnach maighnéid láidre chun leictreoin bíseach chun ianú argón timpeall an sprice a luathú, rud a mhéadaíonn an dóchúlacht go dtarlóidh imbhualadh idir na hiain sprice agus argón agus a fheabhsaíonn an ráta sputtering. Is sputtering DC iad an chuid is mó de na scannáin plating miotail, agus is iad na hábhair mhaighnéadacha ceirmeacha neamh-seoltaí ná RF AC sputtering. Is é an bunphrionsabal ná urscaoileadh glow a úsáid i bhfolús chun dromchla an sprice a bhogadh le hiain argóin. Déanfaidh na caitíní sa plasma luasghéarú go dtí an dromchla leictreoid diúltach mar an t-ábhar sputtered. Cuirfidh an bombardú seo ar an spriocábhar eitilt amach agus taisceadh ar an tsubstráit chun scannán tanaí a dhéanamh.
Critéir roghnúcháin na n-ábhar sprice
(1) Ba cheart go mbeadh neart meicniúil maith agus cobhsaíocht cheimiceach ag an sprioc tar éis foirmiú scannáin;
(2) Caithfidh an t-ábhar scannáin don scannán sputtering imoibríoch a bheith éasca le scannán cumaisc a fhoirmiú leis an ngás imoibrithe;
(3) Ní mór an sprioc agus an tsubstráit a chur le chéile go daingean, ar shlí eile, glacfar leis an ábhar scannáin le fórsa ceangailteach maith leis an tsubstráit, agus déanfar scannán bun a sputtered ar dtús, agus ansin déanfar an ciseal scannáin riachtanach a ullmhú;
(4) Ar bhonn na ceanglais feidhmíochta scannáin a chomhlíonadh, is lú an difríocht idir comhéifeacht leathnú teirmeach an sprioc agus an tsubstráit, is amhlaidh is fearr, ionas go laghdófar tionchar strus teirmeach an scannáin sputtered;
(5) De réir riachtanais iarratais agus feidhmíochta an scannáin, ní mór don sprioc a úsáidtear freastal ar riachtanais theicniúla íonachta, ábhar neamhíonachta, aonfhoirmeacht comhpháirteanna, cruinneas meaisínithe, etc.
Am postála: Lúnasa-12-2022