Faoi láthair, tá beagnach gach sprioc copair miotail ultra-ard-íonachta ard-deireadh a theastaíonn ón tionscal IC monaplachtaithe ag roinnt cuideachtaí ilnáisiúnta eachtracha móra. Ní mór na spriocanna copair ultrapure go léir a theastaíonn ón tionscal IC baile a allmhairiú, rud nach bhfuil ach costasach, ach freisin casta i nósanna imeachta allmhairithe Dá bhrí sin, ní mór don tSín go práinneach forbairt agus fíorú spriocanna sputtering copair íonachta ultra-ard (6N) a fheabhsú. . Breathnaímid ar na príomhphointí agus na deacrachtaí maidir le forbairt spriocanna sputtering copair ultra-ard íonachta (6N).
1、Forbairt ábhar ardíonachta ultra
Tá teicneolaíocht íonú na miotail Cu, Al agus Ta ard-íonachta sa tSín i bhfad ó sin i dtíortha forbartha tionsclaíocha. Faoi láthair, ní féidir leis an gcuid is mó de na miotail ard-íonachta is féidir a sholáthar freastal ar riachtanais cháilíochta na gciorcad iomlánaithe maidir le spriocanna sputtering de réir na modhanna traidisiúnta anailíse ar gach eilimint sa tionscal. Tá líon na gcuimsiú sa sprioc ró-ard nó dáilte go míchothrom. Is minic a fhoirmítear cáithníní ar an wafer le linn sputtering, rud a fhágann go mbíonn ciorcad gearr nó ciorcad oscailte idirnasctha, rud a chuireann isteach go mór ar fheidhmíocht an scannáin.
2、Forbairt teicneolaíochta sputtering sputtering copair
Díríonn forbairt na teicneolaíochta ullmhúcháin sputtering copair go príomha ar thrí ghné: méid gráin, rialú treoshuímh agus aonfhoirmeacht. Tá na ceanglais is airde ag an tionscal leathsheoltóra maidir le spriocanna sputtering agus galú amhábhar. Tá ceanglais an-dian aige maidir le rialú méid gráin dromchla agus treoshuíomh criostail an sprioc. Ní mór méid gráin an sprioc a rialú ag 100μ M thíos, mar sin, tá rialú méid gráin agus modhanna anailíse agus braite comhghaolaithe an-tábhachtach d'fhorbairt spriocanna miotail.
3、Forbairt anailíse agustástáil teicneolaíochta
Ciallaíonn íonacht ard an sprice laghdú na n-eisíontais. San am atá caite, baineadh úsáid as plasma cúpláilte ionduchtach (ICP) agus speictriméadracht ionsú adamhach chun neamhíonachtaí a chinneadh, ach le blianta beaga anuas, baineadh úsáid as anailís cháilíochta urscaoilte glow (GDMS) le híogaireacht níos airde de réir a chéile mar an gcaighdeán. modh. Úsáidtear an modh RRR cóimheas friotaíochta iarmharach go príomha chun íonacht leictreach a chinneadh. Is é a phrionsabal cinnidh ná íonacht na mbonn-mhiotail a mheas trí mhéid scaipthe leictreonach na n-eisíontas a thomhas. Toisc go bhfuil sé chun an fhriotaíocht a thomhas ag teocht an tseomra agus teocht an-íseal, is simplí an uimhir a ghlacadh. Le blianta beaga anuas, d'fhonn croílár miotail a iniúchadh, tá an taighde ar íonacht ultra-ard an-ghníomhach. Sa chás seo, is é luach RRR an bealach is fearr chun an íonacht a mheas.
Am postála: Bealtaine-06-2022