Le blianta beaga anuas, le dul chun cinn na teicneolaíochta ciorcaid chomhtháite (IC), tá na hiarratais ghaolmhara de chiorcaid chomhtháite forbartha go tapa. Tá sprioc sputtering cóimhiotal alúmanaim ultra-ard-íonachta, mar ábhar tacaíochta i ndéantúsaíocht idirnasc miotail ciorcaid chomhtháite, ina ábhar te i dtaighde baile le déanaí. taispeánfaidh eagarthóir RSM dúinn na saintréithe a bhaineann le sprioc sputtering cóimhiotal alúmanaim ard-íonachta.
D'fhonn éifeachtacht sputtering sprioc sputtering magnetron a fheabhsú tuilleadh agus cáilíocht na scannán taiscthe a chinntiú, léiríonn líon mór turgnaimh go bhfuil ceanglais áirithe ann maidir le comhdhéanamh, microstructure agus treoshuíomh gráin sprioc sputtering cóimhiotal alúmanaim ultra-ard íonachta.
Tá tionchar mór ag méid gráin agus treoshuíomh gráin an sprioc ar ullmhú agus ar airíonna scannáin IC. Léiríonn na torthaí go laghdaítear an ráta taisce le méadú ar mhéid gráin; Maidir leis an sprioc sputtering leis an gcomhdhéanamh céanna, tá ráta sputtering an sprioc le méid gráin beag níos tapúla ná an sprioc le méid gráin mór; Dá n-aonfhoirmeach é méid gráin an sprice, is ea is comhionann a bheidh dáileadh tiús na scannán taiscthe.
Faoin ionstraim sputtering céanna agus paraiméadair phróisis, méadaíonn an ráta sputtering de sprioc cóimhiotal Al Cu le méadú ar dhlús adamhach, ach go ginearálta tá sé cobhsaí i raon. Tá éifeacht méid gráin ar ráta sputtering mar gheall ar an athrú ar dhlús adamhach leis an athrú ar mhéid gráin; Tá tionchar ag an ráta taisce go príomha ar threoshuíomh gráin sprioc cóimhiotail Al Cu. Ar bhonn cion na n-eitleán criostail (200) a áirithiú, méadóidh méadú ar an gcion de (111), (220) agus (311) plánaí criostail an ráta taisce.
Déantar méid gráin agus treoshuíomh gráin na spriocanna cóimhiotal alúmanaim ultra-íonachta a choigeartú agus a rialú go príomha trí homogenization tinne, oibriú te agus annealing athchriostalú. Le forbairt mhéid wafer go 20.32cm (8in) agus 30.48cm (12in), tá an spriocmhéid ag méadú freisin, rud a chuireann ceanglais níos airde ar aghaidh maidir le spriocanna sputtering cóimhiotal alúmanaim ultra-ard-íonachta. D'fhonn cáilíocht agus toradh an scannáin a áirithiú, ní mór na paraiméadair phróiseála sprice a rialú go docht chun an sprioc-mhicrstruchtúr a dhéanamh aonfhoirmeach agus ní mór go mbeadh uigeachtaí eitleán láidir (200) agus (220) ag an treoshuíomh gráin.
Am postála: Meitheamh-30-2022