Feidhm Sprioc Sputtering Sliseanna Leathsheoltóra

Is féidir le Rich Special Material Co., Ltd spriocanna sputtering alúmanaim ard-íonachta, spriocanna sputtering copair, spriocanna sputtering tantalam, spriocanna sputtering tíotáiniam, etc. a tháirgeadh don tionscal leathsheoltóra.

Tá ceanglais theicniúla arda agus praghsanna arda ag sliseanna leathsheoltóra maidir le spriocanna sputtering. Tá a gcuid riachtanas maidir le híonacht agus teicneolaíocht na spriocanna sputtering níos airde ná iad siúd a bhaineann le taispeántais painéil chomhréidh, cealla gréine agus feidhmeanna eile. Leagann sliseanna leathsheoltóra caighdeáin thar a bheith dian ar íonacht agus ar mhicreastruchtúr inmheánach na spriocanna sputtering. Má tá cion eisíontais an sprioc sputtering ró-ard, ní féidir leis an scannán a fhoirmítear na hairíonna leictreacha riachtanacha a chomhlíonadh. Sa phróiseas sputtering, tá sé éasca cáithníní a fhoirmiú ar an wafer, rud a fhágann damáiste gearrchiorcad nó ciorcad, rud a chuireann isteach go mór ar fheidhmíocht an scannáin. Go ginearálta, is gá an sprioc sputtering íonachta is airde le haghaidh déantúsaíochta sliseanna, atá de ghnáth 99.9995% (5N5) nó níos airde.

Úsáidtear spriocanna sputtering chun sraitheanna bacainní a dhéanamh agus sraitheanna sreangaithe miotail a phacáistiú. Sa phróiseas déantúsaíochta wafer, úsáidtear an sprioc go príomha chun ciseal seoltaí, ciseal bacainn agus greille miotail an wafer a dhéanamh. Sa phróiseas pacáistithe sliseanna, úsáidtear an sprioc sputtering chun sraitheanna miotail, sraitheanna sreangú agus ábhair miotail eile a ghiniúint faoi na bumps. Cé go bhfuil méid na n-ábhar sprice a úsáidtear i ndéantúsaíocht wafer agus pacáistiú sliseanna beag, de réir staitisticí SEMI, is ionann costas na sprioc-ábhar i bpróiseas déantúsaíochta agus pacáistithe wafer agus thart ar 3%. Mar sin féin, bíonn tionchar díreach ag cáilíocht an sprioc sputtering ar aonfhoirmeacht agus ar fheidhmíocht na sraithe seoltaí agus na sraithe bacainn, rud a chuireann isteach ar luas tarchurtha agus ar chobhsaíocht an tslis. Dá bhrí sin, tá an sprioc sputtering ar cheann de na príomh-amhábhar le haghaidh táirgeadh leathsheoltóra