It doel hat in breed merk, tapassingsgebiet en grutte ûntwikkeling yn 'e takomst. Om jo te helpen in better begryp te meitsjen fan 'e doelfunksjes, hjirûnder sil de RSM-yngenieur koart de wichtichste funksjonele easken fan it doel yntrodusearje.
Reinheid: suverens is ien fan 'e wichtichste funksjonele yndikatoaren fan it doel, om't de suverens fan it doel in grutte ynfloed hat op' e funksje fan 'e film. Yn praktyske tapassing binne de suverenseasken fan it doel lykwols ek oars. Bygelyks, mei de rappe ûntwikkeling fan 'e mikro-elektroanyske yndustry, wurdt de grutte fan silisiumwafer útwreide fan 6 "nei 8" nei 12 ", en de wiringbreedte wurdt fermindere fan 0.5um nei 0.25um, 0.18um of sels 0.13um. Eartiids kin 99,995% fan 'e doelreinheid foldwaan oan' e proseseasken fan 0,35umic, wylst de tarieding fan 0,18um-linen 99,999% of sels 99,9999% fan 'e doelreinheid fereasket.
Unreinensynhâld: ûnreinheden yn doelfêste stoffen en soerstof en wetterdamp yn poaren binne de wichtichste boarnen fan fersmoarging fan ôfset films. Doelen foar ferskate doelen hawwe ferskillende easken foar ferskillende ynhâld fan ûnreinheden. Bygelyks, suvere aluminium en aluminium alloy doelen brûkt yn semiconductor yndustry hawwe spesjale easken foar alkalimetaal ynhâld en radioaktive elemint ynhâld.
Tichtheid: om de poarjes yn 'e fêste doelgroep te ferminderjen en de funksje fan sputterfilm te ferbetterjen, is it doel meastentiids ferplichte om hege tichtens te hawwen. De tichtens fan it doel beynfloedet net allinich it sputteringsnivo, mar hat ek ynfloed op de elektryske en optyske funksjes fan 'e film. Hoe heger de doelstichtens, hoe better de funksje fan de film. Dêrnjonken wurde de tichtens en sterkte fan it doel ferbettere, sadat it doel de termyske stress yn it sputterproses better kin akseptearje. Tichtheid is ek ien fan 'e wichtichste funksjonele yndikatoaren fan it doel.
Post tiid: mei-20-2022