1, Sputtering tarieding
It is heul wichtich om de fakuümkeamer te hâlden, benammen it sputtersysteem skjin. Eltse oerbliuwsel foarme troch lubricating oalje, stof en foarige coating sil sammelje wetterdamp en oare pollutants, dat sil direkt beynfloedzje de fakuüm graad en fergrutsjen de mooglikheid fan film-foarmjen mislearjen. Koarte circuit of doel arcing, rûge film oerflak en oermjittich gemyske ûnreinens ynhâld wurde faak feroarsake troch ûnreine sputtering keamer, sputtering gun en doel. Om te foldwaan oan de gearstalling skaaimerken fan 'e coating, is it nedich om te skjin en droech sputtering gas (argon of soerstof). Nei't it substraat yn 'e sputterkeamer ynstalleare is, moat de loft útlutsen wurde om it fakuüm te berikken dat nedich is troch it proses. De shielding cover yn it tsjuster gebiet, holte muorre en oanswettende oerflak ek moatte wurde hâlden skjin. By it skjinmeitsjen fan 'e fakuümkeamer pleite wy foar it brûken fan glêzen bal shot blasting om de stoffige dielen te behanneljen, tegearre mei komprimearre loft om de iere sputterende resten om' e keamer te ferwiderjen, en dan rêstich it eksterne oerflak te poetsen mei alumina ympregnearre skuorpapier. Nei it polearjen fan it gaaspapier wurdt it skjinmakke mei alkohol, aceton en deionisearre wetter. Tegearre pleitet it foar it brûken fan yndustriële stofsûger foar helpreiniging. De doelen produsearre troch Gaozhan metaal wurde ferpakt yn fakuüm fersegele plestik sekken,
Ynboud yn focht-proof agent. As jo it doel brûke, berikke asjebleaft it doel net direkt mei jo hân. Opmerking: as jo it doel brûke, drage asjebleaft skjinne en pluisfrije ûnderhâldshandschoenen. Raak it doel noait direkt mei jo hannen oan
2, Doelreiniging
It doel fan doelreiniging is om it stof of smoargens te ferwiderjen dat kin bestean op it oerflak fan it doel.
It metalen doel kin yn fjouwer stappen skjinmakke wurde,
De earste stap is om skjin te meitsjen mei in lintfrije sêfte doek dy't yn aceton wiet is;
De twadde stap is fergelykber mei de earste stap, skjinmeitsjen mei alkohol;
Stap 3: skjin mei deionisearre wetter. Nei it wassen mei deionisearre wetter, set it doel yn 'e oven en droegje it foar 30 minuten op 100 ℃.
It skjinmeitsjen fan okside en keramyske doelen sil wurde útfierd mei "pluisfrije doek".
De fjirde stap is om it doel te waskjen mei argon mei hege druk en leech wettergas nei it fuortheljen fan it stoffige gebiet, om alle ûnreinheidsdieltsjes te ferwiderjen dy't in bôge foarmje kinne yn it sputtersysteem
3, Doelapparaat
Yn it proses fan doel ynstallaasje, Z wichtige foarsoarchsmaatregels binne te soargjen foar in goede termyske conduction ferbining tusken it doel en de koeling muorre fan de sputtering gun. As de warpage fan 'e koeling staaf is slim of de warpage fan' e rêch plaat is slim, it doel apparaat sil crack of bûge, en de termyske conductivity fan it efterste doel nei it doel sil sterk beynfloede, resultearret yn it mislearjen fan waarmte dissipation yn it sputtering proses, en it doel sil crack of misse
Om de termyske konduktiviteit te garandearjen, kin in laach grafytpapier tusken de katode-koelmuorre en it doel opboud wurde. Soargje asjebleaft om de platheid fan 'e koelmuorre fan it sputterpistoal foarsichtich te kontrolearjen en dúdlik te meitsjen om te soargjen dat de O-ring altyd op syn plak is.
Sûnt de skjinens fan it brûkte koelwetter en it stof dat kin foarkomme yn 'e wurking fan' e apparatuer sille wurde dellein yn 'e katode-koelwettertank, is it needsaaklik om de katode-koelwettertank te kontrolearjen en skjin te meitsjen by it ynstallearjen fan it doel om de glêde te garandearjen sirkulaasje fan koelwetter en dat de yn- en útlaat net blokkearre wurde.
Guon kathodes binne pland om in lytse romte te hawwen mei de anode, dus by it ynstallearjen fan it doel is it nedich om te soargjen dat der gjin kontakt of dirigint is tusken de kathode en de anode, oars sil in koartsluting foarkomme.
Ferwize nei it hânboek fan 'e apparatuerbehearder foar ynformaasje oer hoe't jo it doel korrekt betsjinje. As d'r gjin sokke ynformaasje is yn 'e brûkershantlieding, besykje dan it apparaat te ynstallearjen neffens de relevante suggestjes fan Gaozhan metal. Wannear't it doel fixture tightening, earst tightening ien bout mei de hân, en dan strak in oare bout op 'e diagonaal mei de hân. Werhelje dit oant alle bouten op it apparaat binne oanskerpe, en dan oanskerpe mei wat.
4, koartsluting en tightness ynspeksje
Nei it foltôgjen fan it doelapparaat is it nedich om de koartsluting en dichtheid fan 'e hiele kathode te kontrolearjen,
It wurdt foarsteld om te bepalen oft der in koartsluting yn de kathode mei help fan in ferset meter
Rige diskriminaasje. Nei it befêstigjen dat der gjin koartsluting yn 'e kathode, kin lekdeteksje wurde útfierd, en wetter kin yn' e kathode ynfierd wurde om te befêstigjen oft der wetterlek is.
5, Doel foar sputterjen
Target pre sputtering pleitet foar suver argon sputtering, wat it oerflak fan it doel kin skjinmeitsje. As it doel foarôf sputtered is, wurdt it bepleite om de sputterkrêft stadichoan te ferheegjen, en de krêftferhegingsfrekwinsje fan keramyske doel is 1.5WH / cm2. De pre sputtering snelheid fan metalen doel kin heger wêze as dy fan keramyske doel blok, en in ridlike macht ferheging taryf is 1.5WH / cm2.
Yn it proses fan pre sputtering moatte wy de arcing fan it doel kontrolearje. De pre-sputtertiid is oer it algemien sawat 10 minuten. As d'r gjin arcing-ferskynsel is, ferheegje de sputterkrêft kontinu
Oan de set macht. Neffens ûnderfining, de akseptabele Z hege sputtering krêft fan metalen doel is
25 watt / cm2, 10 watt / cm2 foar keramyske doel. Ferwize asjebleaft nei de ynstellingsbasis en ûnderfining fan fakuümkeamerdruk by sputterjen yn 'e hânlieding fan' e brûker fan it systeem. Algemien moat der foar soargje dat de wettertemperatuer by de útgong fan koelwetter leger wêze moat as 35 ℃, mar Z is it wichtich om te soargjen dat it sirkulearjende systeem fan koelwetter effektyf kin wurkje
De rappe sirkulaasje fan superkoelend wetter nimt waarmte fuort, wat in wichtige garânsje is om kontinuze sputtering mei hege krêft te garandearjen. Foar metalen doelen wurdt algemien bepleite dat de koelwetterstream is
20lpm wetter druk is oer 5gmp; Foar keramyske doelen wurdt it algemien bepleite dat de wetterstream 30lpm is en de wetterdruk sawat 9gmp
6, Doelûnderhâld
Om koartsluting en arcing te foarkommen feroarsake troch ûnreine holte yn it sputterproses, is it needsaaklik om de sputter opboud yn it sintrum en oan beide kanten fan it sputterspoar yn stadia te ferwiderjen,
Dit helpt ek brûkers om kontinu te sputteren by z hege machtstichtens
7, Doel opslach
De doelen foarsjoen troch Gaozhan metaal wurde ferpakt yn dûbele laach fakuüm plestik tassen. Wy pleite foar dat brûkers de doelen, itsij metaal as keramyk, yn fakuümferpakking hâlde. Benammen de bondingsdoelen moatte wurde opslein ûnder fakuümbetingsten om te foarkommen dat de oksidaasje fan 'e bondinglaach de bondingkwaliteit beynfloedet. Wat it ferpakken fan metalen doelen oanbelanget pleite wy dat Z yn skjinne plestik sekken ferpakt wurde moat
Post tiid: mei-13-2022