It brede gebrûk fan doelmateriaal yn ferskate beroppen makket de fraach nei doelmateriaal hieltyd heger. De folgjende Wy sille koart yntrodusearje jo wat is de primêre funksjonele easken fan it doel, hoping om dy te helpen.
Reinheid: Reinheid is ien fan 'e primêre funksjonele yndikatoaren fan it doel, om't de suverens fan it doel in grutte ynfloed hat op' e funksje fan 'e film. Mar yn 'e praktyk is de suverens fan it doelmateriaal net itselde. Bygelyks, mei de rappe groei fan it berop fan mikro-elektroanika, is de grutte fan silisiumwafer ûntwikkele fan 6 ", 8" nei 12 ", en de wiringbreedte is ôfnommen fan 0.5um nei 0.25um, 0.18um en sels 0.13um. Ienris kin 99.995% fan 'e doelreinheid foldwaan oan de technologyske easken fan 0.35UMIC. De tarieding fan 0.18um line fereasket 99.999% of sels 99.9999% suverens fan doel materiaal.
Tichtens: Om de porositeit yn 'e doelfêst te ferminderjen en de funksje fan' e sputterfilm te ferbetterjen, is it doel normaal ferplicht om in hege tichtens te hawwen. De doelstichtens beynfloedet net allinich de sputtersnelheid, mar ek de elektryske en optyske eigenskippen fan 'e films. Hoe heger de doelstichtens, hoe better de funksje fan 'e film. Dêrnjonken waarden de tichtens en sterkte fan it doelmateriaal ferhege om it better yn steat te wêzen om de termyske stress by it sputterjen te ferneatigjen. Tichtheid is ek ien fan 'e wichtige funksjonele yndikatoaren fan doelstoffen.
Unreinensynhâld: ûnreinheden yn 'e doelfêste en soerstof en wetterdamp yn' e poaren binne de primêre fersmoargingsboarnen fan 'e opboude films. Ferskillende doelmaterialen foar ferskate doelen hawwe ferskillende easken foar ferskate ûnreinensynhâld. Bygelyks, suvere aluminium en aluminium alloy doelen brûkt yn 'e semiconductor yndustry hawwe spesjale easken foar alkalimetaal ynhâld en radioaktive elemint ynhâld.
Post tiid: Jun-06-2022