Barsten yn sputterdoelen komme normaal foar yn keramyske sputterdoelen lykas oksides, karbiden, nitriden en brosse materialen lykas chromium, antymoan, bismut. Lit no de technyske saakkundigen fan RSM ferklearje wêrom't it sputterende doel barst en hokker previntive maatregels kinne wurde nommen om dizze situaasje te foarkommen.
Keramyske of bros materiaal doelen befetsje altyd ynherinte spanningen. Dizze ynterne spanningen wurde generearre yn it doelfabrykproses. Derneist wurde dizze spanningen net folslein elimineare troch it annealingproses, om't se ynherinte skaaimerken binne fan dizze materialen. Yn it sputterproses bringt it bombardemint fan gasionen har momentum oer nei de doelatomen, wêrtroch't se genôch enerzjy jouwe om se te skieden fan it rooster. Dizze eksothermyske ympulsoerdracht makket de doeltemperatuer opkomst, dy't 1000000 ℃ kin berikke op atoomnivo.
Dizze termyske skokken ferheegje de besteande ynterne stress yn it doel in protte kearen. Yn dit gefal, as de waarmte net goed ferdwûn is, kin it doel brekke. Om foar te kommen dat it doel barst, moat de waarmteferdieling beklamme wurde. In wetterkoelmeganisme is nedich om net winske waarmte-enerzjy fan it doel te ferwiderjen. In oar probleem om te beskôgjen is de ferheging fan macht. Tefolle macht tapast yn koarte tiid sil ek feroarsaakje termyske skok oan it doel. Dêrnjonken stelle wy foar om dizze doelen te binen oan 'e efterplane, dy't net allinich stipe foar it doel jaan kinne, mar ek bettere waarmtewikseling tusken it doel en wetter befoarderje. As it doel barsten hat, mar is ferbûn mei de efterplaat, kin it noch brûkt wurde.
Rich Special Materials Co., Ltd. kin foarsjen sputterende doelen mei backplane. It kin wurde oanpast neffens de easken fan de klanten fan materiaal, dikte en bonding type.
Post tiid: Sep-21-2022