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Dans quels champs les cibles de pulvérisation sont-elles utilisées

Nous savons tous qu'il existe de nombreuses spécifications de cible de pulvérisation,qui a awlarge gamme d'applications.TLes variétés cibles couramment utilisées dans différentes industries sont également différentes, venons-en aujourd'hui avec PékinRichmat Ensemble pour en savoir plus sur la classification de l'industrie cible de pulvérisation. 

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一、Définition du matériau cible de pulvérisation

 La pulvérisation cathodique est l’une des principales technologies de préparation de matériaux en couches minces. Il utilise les ions générés par la source d'ions pour former un faisceau d'ions avec une énergie à grande vitesse grâce à une agrégation accélérée sous vide. La surface solide bombardée, les ions et les atomes de surface solide ont un échange d'énergie cinétique, de sorte que les atomes sur la surface solide quittent le solide et se déposent dessus. Sur la surface du substrat, le solide bombardé est la matière première pour préparer le film déposé par pulvérisation cathodique, connu sous le nom de cible de pulvérisation.

二、Classification des domaines d'application des matériaux cibles de pulvérisation cathodique

  1Cible semi-conductrice

(1)Matériau couramment utilisé:Les cibles courantes dans ce domaine comprennent le tantale, le cuivre, le titane, l'aluminium, l'or, le nickel et d'autres métaux à point de fusion élevé.

  (2)UsageFondamentalement, utiliser les données originales cruciales du circuit intégré

  (3)Exigences fonctionnellesLes exigences techniques en matière de pureté, de taille et d'intégration sont élevées.

  2、Matériau cible pour affichage plan

  (1)Matériau couramment utiliséLes cibles couramment utilisées dans ce domaine comprennent l'aluminium/cuivre/molybdène/nickel/niobium/silicium/chrome, etc.

  (2)UsageCe type de matériau cible est principalement utilisé dans divers types de films de grande surface, de télévision et d'ordinateurs portables.

  (3)Exigences fonctionnellesExigences élevées en matière de pureté, de grande surface, d'uniformité, etc.

  3Cibles pour cellules solaires

(1)Matériau couramment utiliséLes cibles aluminium/cuivre/molybdène/chrome/ITO/Ta sont couramment utilisées dans les cellules solaires.

  (2)UsagePrincipalement utilisé dans la « couche de fenêtre », la couche barrière, l'électrode et le film conducteur et d'autres occasions

  (3)Exigences fonctionnellesExigence de compétences élevées, large gamme d'utilisation.

  4Matériel cible pour le stockage des informations

  (1)Matériau couramment utiliséLe stockage d'informations est couramment utilisé avec des matériaux cibles en cobalt/nickel/ferroalliage/chrome/tellure/sélénium.

  (2)UsageLe matériau cible ici est principalement utilisé pour la tête, la couche intermédiaire et la couche inférieure du cd-rom et du CD..

  (3)Exigences fonctionnellesUne densité de stockage élevée et une vitesse de transmission élevée sont requises.

  5Matériau cible pour la modification de l'outil

(1)Matériau couramment utiliséModification d'outils de titane/zirconium/treillis/alliage chrome-aluminium et autres cibles.

  (2)Usage:Il est généralement utilisé pour améliorer l’apparence.

  (3)Exigences fonctionnellesExigences fonctionnelles élevées, longue durée de vie.

  6Matériaux cibles pour appareils électroniques

  (1)Matériau couramment utilisé:Les cibles en alliage d'aluminium/siliciure sont couramment utilisées dans les appareils électroniques

  (2)UsageGénéralement utilisé pour les résistances à film et les condensateurs.

  (3)Exigences fonctionnellesPetite taille, stabilité, faible coefficient de température de résistance


Heure de publication : 21 avril 2022