Le placage sous vide dans la sélection des matériaux cibles de pulvérisation est actuellement un problème pour les gens, car le revêtement par pulvérisation cathodique, en particulier le développement des compétences en matière de revêtement par pulvérisation magnétron, peut être considéré comme étant capable de cibler la préparation de matériaux de films minces. par bombardement ionique, car la pulvérisation du matériau cible lors du processus de revêtement sur le type de substrat a un effet important sur la qualité du film de pulvérisation. Par conséquent, les exigences en matière de matériau cible sont plus strictes. Ici, nous découvrirons le rôle de la cible de pulvérisation dans le revêtement sous vide avec l'éditeur de Beijing Relaxation.
一、Principe de sélection et classification du matériau cible
Lors de la sélection du matériau cible, outre l'utilisation du film lui-même, les problèmes suivants doivent également être pris en compte :
Problème 1. Selon les exigences d'utilisation et de performance de la membrane, il est nécessaire que le matériau cible réponde aux exigences techniques de pureté, de contenu du magasin, d'uniformité des composants, de précision d'usinage, etc.
Problème 2. Le matériau cible doit avoir une bonne résistance mécanique et une bonne stabilité chimique après formation du film ;
Problème 3. Il est nécessaire que le matériau du film génère facilement un film composé avec le gaz de réaction comme film de pulvérisation réactif ;
Problème 4. Il est nécessaire de définir la cible et la matrice pour qu'elles soient solides, sinon, le matériau du film avec une bonne adhérence avec la matrice doit être adopté, pulvérisez d'abord une couche de film inférieur, puis préparez la couche de film requise ;
Question 5. En partant du principe que les exigences de performance du film sont satisfaites, plus la différence entre le coefficient de dilatation thermique de la cible et la matrice est petite, mieux c'est, afin de réduire l'influence de la contrainte thermique du film de pulvérisation cathodique ;
Préparation de plusieurs cibles couramment utilisées
(1) cible cr
Le chrome en tant que matériau de film de pulvérisation est non seulement facile à combiner avec le matériau de base qui a une adhérence élevée, et le film de chrome et d'oxyde CrQ3, ses propriétés mécaniques, sa résistance aux acides et sa stabilité thermique sont meilleures.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. est principalement active dans les domaines suivants : cible en titane, cible en zirconium, cible en aluminium, cible en nickel, cible en chrome, cible en tungstène, cible en molybdène, cible en cuivre, cible en silicium, cible en niobium, cible en tantale, alliage titane-silicium cible, cible en alliage titane-niobium, cible en alliage titane-tungstène, cible en alliage titane-zirconium, cible en alliage nickel-chrome, cible en alliage silice-aluminium, cible en alliage nickel-vanadium, Cible en alliage ternaire chrome-aluminium-silicium, matériau cible en alliage ternaire Ti al si, largement utilisé dans la décoration/surface dure et revêtement fonctionnel, verre architectural, écran plat/photoélectrique optique, stockage optique, électronique, impression et autres professions.
Heure de publication : 02 juin 2022