1、 Préparation à la pulvérisation
Il est très important de garder la chambre à vide, en particulier le système de pulvérisation, propre. Tout résidu formé par l'huile lubrifiante, la poussière et le revêtement précédent collectera de la vapeur d'eau et d'autres polluants, ce qui affectera directement le degré de vide et augmentera le risque de défaillance de la formation de film. Un court-circuit ou un arc de cible, une surface de film rugueuse et une teneur excessive en impuretés chimiques sont souvent causés par une chambre de pulvérisation, un pistolet de pulvérisation et une cible impurs. Afin de respecter les caractéristiques de composition du revêtement, il est nécessaire de nettoyer et sécher le gaz de pulvérisation (argon ou oxygène). Une fois le substrat installé dans la chambre de pulvérisation, l’air doit être extrait pour atteindre le vide requis par le processus. Le couvercle de protection dans la zone sombre, les parois creuses et les surfaces adjacentes doivent également être maintenus propres. Lors du nettoyage de la chambre à vide, nous préconisons d'utiliser un grenaillage à bille de verre pour traiter les parties poussiéreuses, ainsi que de l'air comprimé pour éliminer les premiers résidus de pulvérisation autour de la chambre, puis de polir doucement la surface externe avec du papier de verre imprégné d'alumine. Après avoir poli le papier gaze, il est nettoyé avec de l'alcool, de l'acétone et de l'eau déminéralisée. Ensemble, ils prônent l'utilisation d'aspirateurs industriels pour le nettoyage auxiliaire. Les cibles produites par Gaozhan metal sont emballées dans des sacs en plastique scellés sous vide,
Agent résistant à l'humidité intégré. Lorsque vous utilisez la cible, veuillez ne pas toucher la cible directement avec votre main. Remarque : lors de l'utilisation de la cible, veuillez porter des gants d'entretien propres et non pelucheux. Ne touchez jamais la cible directement avec vos mains
2、Nettoyage cible
Le but du nettoyage de la cible est d'éliminer la poussière ou la saleté qui peut exister à la surface de la cible.
La cible métallique peut être nettoyée en quatre étapes,
La première étape consiste à nettoyer avec un chiffon doux non pelucheux imbibé d’acétone ;
La deuxième étape est similaire à la première étape, le nettoyage à l’alcool ;
Étape 3 : nettoyer à l'eau déminéralisée. Après lavage à l'eau déminéralisée, placez la cible au four et séchez-la à 100 ℃ pendant 30 minutes.
Le nettoyage des cibles en oxyde et en céramique doit être effectué avec un « chiffon non pelucheux ».
La quatrième étape consiste à laver la cible avec de l'argon avec du gaz à haute pression et à faible teneur en eau après avoir éliminé la zone poussiéreuse, de manière à éliminer toutes les particules d'impuretés susceptibles de former un arc dans le système de pulvérisation.
3、Appareil cible
Lors du processus d'installation de la cible, des précautions importantes sont d'assurer une bonne connexion par conduction thermique entre la cible et la paroi de refroidissement du pistolet de pulvérisation. Si la déformation de la douve de refroidissement ou la déformation de la plaque arrière est importante, le dispositif cible se fissurera ou se pliera, et la conductivité thermique de la cible arrière à la cible sera grandement affectée, entraînant un échec de dissipation thermique. dans le processus de pulvérisation, et la cible se fissurera ou manquera
Afin d'assurer la conductivité thermique, une couche de papier graphite peut être rembourrée entre la paroi de refroidissement cathodique et la cible. Veuillez faire attention à vérifier soigneusement et à préciser la planéité de la paroi de refroidissement du pistolet de pulvérisation utilisé pour garantir que le joint torique est toujours en place.
Étant donné que la propreté de l'eau de refroidissement utilisée et la poussière pouvant survenir pendant le fonctionnement de l'équipement seront déposées dans le réservoir d'eau de refroidissement cathodique, il est nécessaire de vérifier et de nettoyer le réservoir d'eau de refroidissement cathodique lors de l'installation de la cible pour garantir le bon fonctionnement. circulation de l'eau de refroidissement et que l'entrée et la sortie ne soient pas obstruées.
Certaines cathodes sont prévues pour avoir un petit espace avec l'anode, donc lors de l'installation de la cible, il faut s'assurer qu'il n'y a pas de contact ou de conducteur entre la cathode et l'anode, sinon un court-circuit se produirait.
Reportez-vous au manuel de l'opérateur de l'équipement pour obtenir des informations sur la manière d'utiliser correctement la cible. S'il n'y a pas d'informations de ce type dans le manuel d'utilisation, veuillez essayer d'installer l'appareil selon les suggestions pertinentes fournies par Gaozhan metal. Lors du serrage du dispositif cible, serrez d'abord un boulon à la main, puis serrez un autre boulon en diagonale à la main. Répétez cette opération jusqu'à ce que tous les boulons de l'appareil soient serrés, puis serrez avec quelque chose.
4、 Inspection des courts-circuits et de l'étanchéité
Une fois le dispositif cible terminé, il est nécessaire de vérifier le court-circuit et l'étanchéité de l'ensemble de la cathode,
Il est proposé de déterminer s'il y a un court-circuit dans la cathode en utilisant un compteur de résistance
Discrimination des rangées. Après avoir confirmé qu'il n'y a pas de court-circuit dans la cathode, une détection de fuite peut être effectuée et de l'eau peut être introduite dans la cathode pour confirmer s'il y a une fuite d'eau.
5、Cible avant pulvérisation
La pré-pulvérisation de la cible préconise la pulvérisation à l'argon pur, qui peut nettoyer la surface de la cible. Lorsque la cible est pré-pulvérisée, il est conseillé d'augmenter lentement la puissance de pulvérisation, et le taux d'augmentation de puissance de la cible en céramique est de 1,5WH/cm2. La vitesse de pré-pulvérisation de la cible métallique peut être supérieure à celle du bloc cible en céramique, et un taux d'augmentation de puissance raisonnable est de 1,5 WH/cm2.
Lors du processus de pré-pulvérisation, nous devons vérifier l’arc de la cible. Le temps de pré-pulvérisation est généralement d'environ 10 minutes. S'il n'y a pas de phénomène d'arc, augmentez continuellement la puissance de pulvérisation.
À la puissance réglée. Selon l'expérience, la puissance de pulvérisation élevée Z acceptable de la cible métallique est
25watts/cm2, 10watts/cm2 pour cible en céramique. Veuillez vous référer à la base de réglage et à l'expérience de la pression de la chambre à vide pendant la pulvérisation dans le manuel d'utilisation du système de l'utilisateur. Généralement, il faut s'assurer que la température de l'eau à la sortie de l'eau de refroidissement soit inférieure à 35 ℃, mais Z il est important de s'assurer que le système de circulation de l'eau de refroidissement peut fonctionner efficacement.
La circulation rapide de l'eau de surfusion évacue la chaleur, ce qui constitue une garantie importante pour assurer une pulvérisation continue avec une puissance élevée. Pour les cibles métalliques, il est généralement préconisé que le débit d'eau de refroidissement soit
La pression de l'eau de 20 lpm est d'environ 5 gmp ; Pour les cibles en céramique, il est généralement conseillé que le débit d'eau soit de 30 l/min et que la pression de l'eau soit d'environ 9 gmp.
6、Entretien des cibles
Afin d'éviter les courts-circuits et les arcs provoqués par une cavité sale lors du processus de pulvérisation, il est nécessaire d'enlever la pulvérisation accumulée au centre et des deux côtés de la piste de pulvérisation par étapes,
Cela aide également les utilisateurs à pulvériser en continu à une densité de puissance élevée.
7、Stockage cible
Les cibles fournies par Gaozhan metal sont emballées dans des sacs en plastique sous vide à double couche. Nous préconisons que les utilisateurs conservent les cibles, qu'elles soient en métal ou en céramique, dans un emballage sous vide. En particulier, les cibles de liaison doivent être stockées sous vide pour éviter que l’oxydation de la couche de liaison n’affecte la qualité de la liaison. Concernant le conditionnement des cibles métalliques, nous préconisons que Z soit conditionné dans des sacs plastiques propres.
Heure de publication : 13 mai 2022