De nombreux utilisateurs doivent avoir entendu parler du produit de cible de pulvérisation, mais le principe de la cible de pulvérisation devrait être relativement peu familier. Maintenant, l'éditeur deMatériau spécial riche (RSM) partage les principes de pulvérisation magnétron de la cible de pulvérisation.
Un champ magnétique orthogonal et un champ électrique sont ajoutés entre l'électrode cible pulvérisée (cathode) et l'anode, le gaz inerte requis (généralement du gaz Ar) est rempli dans la chambre à vide poussé, l'aimant permanent forme un champ magnétique de 250 ~ 350 Gauss sur la surface des données cibles, et le champ électromagnétique orthogonal est formé avec le champ électrique haute tension.
Sous l’effet d’un champ électrique, le gaz Ar est ionisé en ions positifs et en électrons. Une certaine haute tension négative est ajoutée à la cible. L'effet du champ magnétique sur les électrons émis par le pôle cible et la probabilité d'ionisation du gaz de travail augmentent, formant un plasma à haute densité près de la cathode. Sous l'effet de la force de Lorentz, les ions Ar accélèrent vers la surface cible et bombardent la surface cible à très grande vitesse. Les atomes pulvérisés sur la cible suivent le principe de conversion d'impulsion et s'envolent de la surface cible vers le substrat avec une énergie cinétique élevée. pour déposer des films.
La pulvérisation magnétron est généralement divisée en deux types : la pulvérisation tributaire et la pulvérisation RF. Le principe de l'équipement de pulvérisation affluent est simple, et sa vitesse est également rapide lors de la pulvérisation de métal. La pulvérisation RF est largement utilisée. En plus de pulvériser des matériaux conducteurs, il peut également pulvériser des matériaux non conducteurs. Dans le même temps, il effectue également une pulvérisation réactive pour préparer des matériaux d'oxydes, de nitrures, de carbures et d'autres composés. Si la fréquence RF augmente, cela deviendra une pulvérisation plasma micro-ondes. Aujourd’hui, la pulvérisation plasma micro-ondes par résonance cyclotron électronique (ECR) est couramment utilisée.
Heure de publication : 31 mai 2022