Processus de liaison du panneau arrière :
1、Qu'est - ce qu'une liaison contraignante? Il s'agit de l'utilisation de soudure pour souder le matériau cible à la cible arrière. Il existe trois méthodes principales : le sertissage, le brasage et la colle conductrice. La liaison cible est couramment utilisée pour le brasage, et les matériaux de brasage comprennent généralement In, Sn et In Sn. Généralement, lorsque des matériaux de brasage tendre sont utilisés, la puissance de pulvérisation doit être inférieure à 20 W/cm2.
2、 Pourquoi lier 1. Empêcher la fragmentation inégale des matériaux cibles pendant le chauffage, tels que les cibles fragiles telles que l'ITO, le SiO2, la céramique et les cibles frittées ; 2. Enregistrez * * * et évitez la déformation. Si le matériau de la cible est trop cher, il peut être plus fin et lié à la cible arrière pour éviter toute déformation.
3. Sélection de la cible arrière : 1. Rich Special Materials Co., Ltd. utilise couramment du cuivre sans oxygène avec une bonne conductivité, et la conductivité thermique du cuivre sans oxygène est meilleure que celle du cuivre rouge ; 2. L'épaisseur est modérée et il est généralement recommandé d'avoir une épaisseur de cible arrière d'environ 3 mm. Trop épais, consommant une certaine force magnétique ; Trop fin, facile à déformer.
4. Processus de liaison 1. Prétraitez la surface du matériau cible et la cible arrière avant la liaison. 2. Placez le matériau cible et la cible arrière sur une plate-forme de brasage et augmentez la température jusqu'à la température de liaison. 3. Métallisez le matériau cible et la cible arrière. 4. Collez le matériau cible et la cible arrière. 5. Refroidissement et post-traitement.
5、 Précautions d'utilisation des cibles liées : 1. La température de pulvérisation ne doit pas être trop élevée. 2. Le courant doit être augmenté lentement. 3. L'eau de refroidissement en circulation doit être inférieure à 35 degrés Celsius. 4. Densité cible appropriée
6. La raison du détachement de la plaque arrière est que la température de pulvérisation est élevée et que la cible arrière est sujette à l'oxydation et à la déformation. Le matériau cible se fissurera lors de la pulvérisation à haute température, provoquant le détachement de la cible arrière ; 2. Le courant est trop élevé et la conduction thermique est trop rapide, ce qui entraîne une température trop élevée et une fonte de la soudure, ce qui entraîne une soudure inégale et un détachement de la cible arrière ; 3. La température de sortie de l'eau de refroidissement en circulation doit être inférieure à 35 degrés Celsius, et la température élevée de l'eau en circulation peut entraîner une mauvaise dissipation thermique et un détachement ; 4. La densité du matériau cible lui-même, lorsque la densité du matériau cible est très élevée, il n'est pas facile à adsorber, il n'y a pas d'espace et la cible arrière tombe facilement.
Heure de publication : 12 octobre 2023