De nombreux utilisateurs n'envisagent pas l'achat de cibles d'un point de vue professionnel, alors à quoi faut-il faire attention lors de l'achat de cibles ? Demandons au Xiaobian de Beijing Ruichi de souligner les points nécessitant une attention particulière lors de l'achat de cibles.
Premièrement, pour la cible, la pureté est l’un de ses principaux indicateurs fonctionnels, et la pureté de la cible a un impact important sur la fonction du film de produit ultérieur. Chaque produit a également des exigences différentes quant à la pureté de la cible.
Deuxièmement, la teneur en impuretés des éléments individuels de la cible. Après une série de traitements cibles, les impuretés du solide cible ainsi que l'oxygène et la vapeur d'eau présents dans les pores sont les principales sources de pollution des films déposés. En raison des différentes utilisations des cibles, les exigences relatives aux différentes teneurs en impuretés des cibles ayant des utilisations différentes sont également différentes. Par exemple, les cibles en aluminium pur et en alliage d'aluminium utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs sont désormais soumises à des exigences particulières concernant la teneur en métaux alcalins et en éléments radioactifs.
La densité est également l'un des indices de performance importants de la cible. Dans le processus technique de la cible, afin de réduire les pores du solide cible et d'améliorer la fonction du film pulvérisé, la cible doit généralement avoir une densité élevée. La densité caractéristique principale de la cible a une grande influence sur la vitesse de pulvérisation et affecte les fonctions électriques et optiques du film. Plus la densité cible est élevée, meilleure est la fonction du film.
Enfin, la granulométrie et la répartition des grains. Habituellement, le matériau cible est polycristallin et la taille des grains peut varier du micron au millimètre. Pour la même cible, la vitesse de pulvérisation d'une cible à grains fins est plus rapide que celle d'une cible à grains grossiers ; L'épaisseur des films déposés par pulvérisation ciblée avec une faible différence de granulométrie (dispersion uniforme) est plus uniforme.
Heure de publication : 10 juin 2022