L'utilisation généralisée du matériel cible dans diverses professions rend la demande de matériel cible de plus en plus élevée. Ce qui suit Nous allons présenter brièvement toi quelles sont les principales exigences fonctionnelles de la cible, hoping pour vous aider.
Pureté : La pureté est l'un des principaux indicateurs fonctionnels de la cible, car la pureté de la cible a un grand impact sur la fonction du film. Mais en pratique, la pureté du matériau cible n’est pas la même. Par exemple, avec la croissance rapide de la profession de la microélectronique, la taille des plaquettes de silicium est passée de 6", 8" à 12", et la largeur du câblage a diminué de 0,5 um à 0,25 um, 0,18 um et même 0,13 um. Une fois que 99,995 % de la pureté cible peuvent répondre aux exigences technologiques de 0,35UMIC. La préparation de la ligne 0,18 um nécessite une pureté de 99,999 % voire 99,9999 % du matériau cible.
Densité : Afin de réduire la porosité du solide cible et d'améliorer la fonction du film de pulvérisation, la cible doit généralement avoir une densité élevée. La densité cible affecte non seulement la vitesse de pulvérisation mais également les propriétés électriques et optiques des films. Plus la densité cible est élevée, meilleure est la fonction du film. De plus, la densité et la résistance du matériau cible ont été augmentées pour le rendre mieux capable de résister aux contraintes thermiques lors de la pulvérisation cathodique. La densité est également l'un des indicateurs fonctionnels importants des substances cibles.
Teneur en impuretés : les impuretés dans le solide cible et l'oxygène et la vapeur d'eau dans les pores sont les principales sources de pollution des films accumulés. Différents matériaux cibles destinés à différents usages ont des exigences différentes pour différentes teneurs en impuretés. Par exemple, les cibles en aluminium pur et en alliage d'aluminium utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs ont des exigences particulières en matière de teneur en métaux alcalins et en éléments radioactifs.
Heure de publication : 06 juin 2022