Les matériaux cibles pulvérisés ont des exigences élevées lors de leur utilisation, non seulement en termes de pureté et de taille de particules, mais également en termes de taille de particule uniforme. Ces exigences élevées nous obligent à accorder plus d’attention lors de l’utilisation de matériaux cibles de pulvérisation.
1. Préparation à la pulvérisation
Il est très important de maintenir la propreté de la chambre à vide, notamment du système de pulvérisation. Les lubrifiants, la poussière et tout résidu de revêtements précédents peuvent accumuler des polluants tels que l'eau, affectant directement le vide et augmentant le risque de défaillance de la formation du film. Les courts-circuits, les arcs de cible, les surfaces rugueuses formant un film et les impuretés chimiques excessives sont généralement causés par des chambres de pulvérisation, des pistolets et des cibles impurs.
Afin de conserver les caractéristiques de composition du revêtement, le gaz de pulvérisation (argon ou oxygène) doit être propre et sec. Après avoir installé le substrat dans la chambre de pulvérisation, l'air doit être extrait pour atteindre le niveau de vide requis pour le processus.
2. Nettoyage ciblé
Le but du nettoyage de la cible est d’éliminer toute poussière ou saleté pouvant exister à la surface de la cible.
3. Installation cible
La chose la plus importante à prendre en compte lors du processus d’installation du matériau cible est d’assurer une bonne connexion thermique entre le matériau cible et la paroi de refroidissement du pistolet de pulvérisation. Si la paroi de refroidissement ou la plaque arrière est fortement déformée, cela peut provoquer des fissures ou une flexion lors de l'installation du matériau cible. Le transfert de chaleur de la cible arrière au matériau cible sera grandement affecté, ce qui entraînera l'incapacité de dissiper la chaleur pendant la pulvérisation, conduisant finalement à une fissuration ou à une déviation du matériau cible.
4. Inspection des courts-circuits et de l’étanchéité
Après l'installation du matériau cible, il est nécessaire de vérifier le court-circuit et l'étanchéité de l'ensemble de la cathode. Il est recommandé d'utiliser un ohmmètre et un mégohmmètre pour déterminer si la cathode est en court-circuit. Après avoir confirmé que la cathode n'est pas en court-circuit, une détection de fuite peut être effectuée en injectant de l'eau dans la cathode pour déterminer s'il y a une fuite.
5. Matériau cible avant pulvérisation
Il est recommandé d'utiliser du gaz argon pur pour la pré-pulvérisation du matériau cible, ce qui peut nettoyer la surface du matériau cible. Il est recommandé d'augmenter lentement la puissance de pulvérisation pendant le processus de pré-pulvérisation pour le matériau cible. La puissance du matériau cible en céramique
Heure de publication : 19 octobre 2023