Beaucoup d'amis sur la maintenance de la cible ont plus ou moins de questions, récemment, il y a aussi de nombreux clients qui consultent sur les problèmes liés à la maintenance de la cible, laissez l'éditeur de RSM nous partager nos connaissances sur la maintenance de la cible de pulvérisation.
Comment entretenir les cibles de pulvérisation ?
1、Maintenance cible
Afin d'éviter les courts-circuits et les arcs provoqués par une cavité sale lors du processus de pulvérisation, il est nécessaire de retirer périodiquement les pulvérisations accumulées au milieu et des deux côtés de la piste de pulvérisation, ce qui aide également les utilisateurs à pulvériser en continu à une densité de puissance élevée.
2、Stockage cible
Nous recommandons aux utilisateurs de stocker la cible (qu'elle soit en métal ou en céramique) dans un emballage sous vide, en particulier la cible de montage doit être stockée sous vide pour éviter que l'oxydation de la couche de montage n'affecte la qualité du montage. Quant à l’emballage des cibles métalliques, nous suggérons qu’elles soient au minimum emballées dans des sacs en plastique propres.
3、Nettoyage cible
La première étape consiste à nettoyer avec un chiffon doux non pelucheux imbibé d’acétone ;
La deuxième étape est similaire à la première étape, le nettoyage à l’alcool ;
Étape 3 : nettoyer à l'eau déminéralisée. Après nettoyage à l'eau déminéralisée, la cible est placée au four et séchée à 100 ℃ pendant 30 minutes. Il est suggéré d'utiliser un « chiffon non pelucheux » pour nettoyer les cibles en oxyde et en céramique.
La quatrième étape consiste à laver la cible avec de l'argon à haute pression et à faible humidité pour éliminer toutes les particules impures susceptibles de provoquer un arc dans le système de pulvérisation.
4、 Vérification des courts-circuits et de l'étanchéité
Une fois la cible installée, l’ensemble de la cathode doit être vérifié pour détecter les courts-circuits et l’étanchéité. Il est recommandé de déterminer s'il y a un court-circuit dans la cathode en utilisant un compteur de résistance et un mégohmmètre. Après avoir confirmé qu'il n'y a pas de court-circuit dans la cathode, une inspection des fuites d'eau peut être effectuée et de l'eau peut être introduite dans la cathode pour déterminer s'il y a une fuite d'eau.
5、 Emballage et transport
Toutes les cibles sont emballées dans des sacs en plastique scellés sous vide avec un agent résistant à l'humidité. L'emballage extérieur est généralement une boîte en bois entourée d'une couche anti-collision pour protéger la cible et le fond de panier des dommages pendant le transport et le stockage.
Heure de publication : 15 juillet 2022