Les fissures dans les cibles de pulvérisation se produisent généralement dans les cibles de pulvérisation céramique telles que les oxydes, les carbures, les nitrures et les matériaux fragiles tels que le chrome, l'antimoine et le bismuth. Laissons maintenant les experts techniques de RSM vous expliquer pourquoi la cible de pulvérisation se fissure et quelles mesures préventives peuvent être prises pour éviter cette situation.
Les cibles en céramique ou en matériaux fragiles contiennent toujours des contraintes inhérentes. Ces contraintes internes sont générées dans le processus de fabrication cible. De plus, ces contraintes ne sont pas totalement éliminées par le procédé de recuit, car elles sont des caractéristiques inhérentes à ces matériaux. Lors du processus de pulvérisation cathodique, le bombardement d’ions gazeux transfère leur impulsion aux atomes cibles, leur fournissant suffisamment d’énergie pour les séparer du réseau. Ce transfert de quantité de mouvement exothermique fait augmenter la température cible, qui peut atteindre 1 000 000 ℃ au niveau atomique.
Ces chocs thermiques augmentent plusieurs fois la contrainte interne existante dans la cible. Dans ce cas, si la chaleur n’est pas correctement dissipée, la cible risque de se briser. Afin d'éviter que la cible ne se fissure, il convient de mettre l'accent sur la dissipation thermique. Un mécanisme de refroidissement par eau est nécessaire pour éliminer l'énergie thermique indésirable de la cible. Un autre problème à considérer est l’augmentation de la puissance. Une puissance trop élevée appliquée en peu de temps provoquera également un choc thermique sur la cible. De plus, nous suggérons de lier ces cibles au fond de panier, ce qui peut non seulement fournir un support à la cible, mais également favoriser un meilleur échange thermique entre la cible et l'eau. Si la cible présente des fissures mais est collée à la plaque arrière, elle peut toujours être utilisée.
Rich Special Materials Co., Ltd. peut fournir des cibles de pulvérisation avec fond de panier. Il peut être personnalisé en fonction des exigences des clients en matière de matériau, d'épaisseur et de type de liaison.
Heure de publication : 21 septembre 2022