Comme nous le savons tous, la pureté est l’un des principaux indicateurs de performance de la cible. En utilisation réelle, les exigences de pureté de la cible sont également différentes. Comparé au titane pur industriel général, le titane de haute pureté est coûteux et a une gamme d'applications étroite. Il est principalement utilisé pour répondre à l’utilisation de certaines industries spéciales. Alors, quelles sont les principales applications des cibles en titane de haute pureté ? Suivons maintenant le spécialiste deRSM.
L'utilisation de cibles en titane de haute pureté comprend principalement les points suivants :
1. Biomatériaux
Le titane est un métal non magnétique, qui ne sera pas magnétisé dans un champ magnétique puissant, présente une bonne compatibilité avec le corps humain, des effets secondaires non toxiques et peut être utilisé pour fabriquer des dispositifs implantés chez l'homme. Généralement, les matériaux médicaux en titane n'atteignent pas le niveau du titane de haute pureté, mais compte tenu de la dissolution des impuretés dans le titane, la pureté du titane pour les implants doit être aussi élevée que possible. Il est mentionné dans la littérature que du fil de titane de haute pureté peut être utilisé comme matériau de liaison biologique. De plus, l'aiguille d'injection en titane avec cathéter intégré a également atteint le niveau du titane de haute pureté.
2. Matériaux décoratifs
Le titane de haute pureté a une excellente résistance à la corrosion atmosphérique et ne changera pas de couleur après une utilisation à long terme dans l'atmosphère, garantissant ainsi la couleur d'origine du titane. Par conséquent, le titane de haute pureté peut également être utilisé comme matériau de décoration de bâtiments. De plus, ces dernières années, certaines décorations haut de gamme et certains appareils portables, tels que les bracelets, les montres et les montures de lunettes, sont en titane, ce qui profite de sa résistance à la corrosion, de sa non-décoloration, de sa bonne brillance à long terme et de sa non-sensibilisation à peau humaine. La pureté du titane utilisé dans certaines décorations a atteint le niveau 5N.
3. Matériel inspiratoire
Le titane, en tant que métal aux propriétés chimiques très actives, peut réagir avec de nombreux éléments et composés à haute température. Le titane de haute pureté a une forte adsorption pour les gaz actifs (tels que,,CO,, vapeur d'eau supérieure à 650℃), et le film de Ti évaporé sur la paroi de la pompe peut former une surface à haute capacité d'adsorption. Cette propriété rend le Ti largement utilisé comme getter dans les systèmes de pompage à ultra-vide. Si elles sont utilisées dans des pompes à sublimation, des pompes ioniques de pulvérisation, etc., la pression de fonctionnement ultime des pompes ioniques de pulvérisation peut être aussi basse que PA.
4. Documents d'information électroniques
Ces dernières années, avec le développement rapide de la technologie des semi-conducteurs, des technologies de l'information et d'autres domaines de haute technologie, le titane de haute pureté est de plus en plus utilisé dans les cibles de pulvérisation, les circuits intégrés, les DRAM et les écrans plats, et la pureté du titane est requise de plus en plus. Dans l'industrie des semi-conducteurs VLSI, le composé titane-silicium, le composé nitrure de titane, le composé tungstène-titane, etc. sont utilisés comme barrière de diffusion et matériaux de câblage pour les électrodes de commande. Ces matériaux sont fabriqués par pulvérisation cathodique, et la cible en titane utilisée par pulvérisation cathodique nécessite une grande pureté, en particulier la teneur en éléments métalliques alcalins et en éléments radioactifs est très faible.
Outre les domaines d'application mentionnés ci-dessus, le titane de haute pureté est également utilisé dans des alliages spéciaux et des matériaux fonctionnels.
Heure de publication : 11 juillet 2022