Le matériau cible en oxyde d'aluminium, un matériau principalement composé d'oxyde d'aluminium de haute pureté (Al2O3), est utilisé dans diverses technologies de préparation de couches minces, telles que la pulvérisation magnétron, l'évaporation par faisceau d'électrons, etc. L'oxyde d'aluminium, en tant que matériau dur et chimiquement stable, son matériau cible peut fournir une source de pulvérisation stable pendant le processus de préparation de film mince, produisant ainsi des matériaux en film mince dotés d'excellentes propriétés physiques et chimiques. Il est largement utilisé dans les semi-conducteurs, l’optoélectronique, la décoration et la protection, etc.
Ses principaux domaines d'application
Applications de fabrication de circuits intégrés : les cibles en oxyde d'aluminium sont utilisées dans le processus de fabrication de circuits intégrés pour former des couches d'isolation et diélectriques de haute qualité, améliorant ainsi les performances et la fiabilité des circuits.
Application des dispositifs optoélectroniques : Dans les dispositifs optoélectroniques tels que les LED et les modules photovoltaïques, des cibles d'oxyde d'aluminium sont utilisées pour préparer des films conducteurs transparents et des couches antireflet, améliorant ainsi l'efficacité de conversion photoélectrique des dispositifs.
Application d'un revêtement protecteur : un film mince préparé à partir de cibles d'oxyde d'aluminium est utilisé sur les composants d'industries telles que l'aviation et l'automobile pour fournir une couche protectrice résistante à l'usure et à la corrosion.
Application du revêtement décoratif : Dans les domaines du mobilier, des matériaux de construction, etc., le film d'oxyde d'aluminium est utilisé comme revêtement décoratif pour apporter de l'esthétique tout en protégeant le substrat de l'érosion environnementale externe.
Applications aérospatiales : dans le domaine aérospatial, les cibles en oxyde d'aluminium sont utilisées pour préparer des couches de protection résistantes aux hautes températures et aux hautes pressions, protégeant les composants critiques d'un fonctionnement stable dans des environnements spéciaux.
Heure de publication : 27 juin 2024