Revêtement de Pvd de couche mince de grande pureté de cible d'alliage de CrSi fait sur commande

La fabrication de cibles de pulvérisation de chrome-silicium comprend les étapes suivantes :
1. Fusion sous vide du silicium et du chrome pour obtenir des alliages étagés.
2. Broyage de poudre, emballage et évacuation.
3. Traitement de pressage isostatique à chaud pour obtenir des produits semi-finis.
4. Usinage du matériau cible de pulvérisation en alliage chrome-silicium brut pour obtenir le matériau cible de pulvérisation en alliage chrome-silicium.

CrSi est souvent utilisé comme matériau de film à haute résistance, il présente une résistance élevée, une stabilité et un coefficient de résistance à basse température. Le chrome et le silicium pourraient produire de nombreuses phases siliciures comme Cr3Si , Cr5Si3, , CrSi , CrSi2. Le processus de production, la composition et le processus de traitement thermique du film CrSi affectent grandement ses performances.

Rich Special Materials se spécialise dans la fabrication de cibles de pulvérisation cathodique et pourrait produire des matériaux de pulvérisation de chrome-silicium selon les spécifications des clients. Pour plus d'informations, veuillez nous contacter.