Revêtement PVD à couche mince de grande pureté pour cible de pulvérisation AlTa sur mesure
Aluminium-Tantale
Les cibles sont préparées en mélangeant des poudres d'aluminium et de tantale ou en les faisant fondre sous vide, suivies d'un compactage jusqu'à atteindre leur pleine densité. Les matériaux ainsi compactés sont éventuellement frittés et sont ensuite façonnés selon la forme cible souhaitée.
La cible de pulvérisation d'aluminium et de tantale présente une grande pureté, une microstructure homogène et une excellente conductivité. Il est largement utilisé dans la formation de films minces pour l’industrie des écrans plats. De l'aluminium et du tantale pourraient également être ajoutés pour produire un alliage de titane haute performance afin d'améliorer son aptitude aux hautes températures.
Teneur en impuretés de l'alliage Al-Ta
composition | Contenu(%) | ||||
Ta | Fe | Si | C | O | |
AlTa60 | 55,0 ~ 65,0 | ≤0,05 | ≤0,02 | ≤0,01 | ≤0,05 |
AlTa70 | 65,0 ~ 75,0 | ≤0,05 | ≤0,02 | ≤0,01 | ≤0,05 |
Rich Special Materials se spécialise dans la fabrication de cibles de pulvérisation et pourrait produire des matériaux de pulvérisation d'aluminium et de tantale selon les spécifications des clients. Nos produits présentent d'excellentes propriétés mécaniques, une structure homogène, une surface polie sans ségrégation, pores ou fissures. Pour plus d'informations, veuillez nous contacter.