Mitkä ovat sputterointikohteen roolit tyhjiöpinnoituksessa?

Tyhjiöpinnoitus sputterointikohdemateriaalien valinnassa on ollut ihmisille ongelma tällä hetkellä, sillä sputterointipinnoite, erityisesti magnetronisputterointipäällystystaitojen kehittyminen, voidaan sanoa minkä tahansa tiedon kohdentamiseksi ohutkalvojen materiaalin valmisteluun. ionipommituksella, koska sputteroimalla kohdemateriaalia pinnoitusprosessissa substraatin tyyppiin, on tärkeä vaikutus sputteroinnin laatuun kalvo, siksi kohdemateriaalivaatimukset ovat tiukemmat. Täällä opimme sputteroivan kohteen roolista tyhjiöpinnoituksessa yhdessä Beijing Relaxationin toimittajan kanssa

一、 Kohdemateriaalin valintaperiaate ja luokitus

Kohdemateriaalia valittaessa tulee itse kalvon käytön lisäksi ottaa huomioon myös seuraavat ongelmat:

Tehtävä 1. Kalvon käyttö- ja suorituskykyvaatimusten mukaan kohdemateriaalin on täytettävä puhtauden, lipun sisällön, komponenttien tasaisuuden, työstötarkkuuden ja niin edelleen tekniset vaatimukset.

Tehtävä 2. Kohdemateriaalilla tulee olla hyvä mekaaninen lujuus ja kemiallinen stabiilisuus kalvon muodostuksen jälkeen;

Tehtävä 3. Kalvomateriaalin on välttämätöntä muodostaa helposti yhdistekalvo reaktiokaasun ollessa reaktiivinen sputterointikalvo;

Tehtävä 4. Kohde ja matriisi on asetettava vahvoiksi, muuten tulee ottaa käyttöön kalvomateriaali, jolla on hyvä tarttuvuus matriisiin, ensin ruiskuttaa kerros pohjakalvoa ja valmistella sitten tarvittava kalvokerros;

Kysymys 5. Olettaen, että kalvon suorituskykyvaatimukset täyttyvät, mitä pienempi ero kohteen ja matriisin lämpölaajenemiskertoimen välillä on, sitä parempi, jotta voidaan vähentää sputterointikalvon lämpöjännityksen vaikutusta;

Useiden yleisesti käytettyjen kohteiden valmistelu

(1) op tavoite

Kromi sputterointikalvomateriaalina ei ole vain helppo yhdistää perusmateriaaliin, sillä sen tarttuvuus on korkea, ja kromi- ja oksidi-CrQ3-kalvolla sen mekaaniset ominaisuudet, haponkestävyys ja lämpöstabiilisuus ovat paremmat.

Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd., joka harjoittaa pääasiassa: titaanikohde zirkoniumkohde, alumiinikohde, nikkelikohde, kromikohde, volframikohde, molybdeenikohde, kuparikohde, piikohde, niobikohde, tantaalikohde, titaani-piiseos kohde, titaani-niobilejeerinki, titaani-volframiseoskohde, titaani-zirkonium-seoskohde, nikkeli-kromiseoskohde, piidioksidi-alumiinilejeerinkikohde, nikkeli-vanadiinilejeerinkikohde, kromi-alumiini-pii-kolmimetalliseoskohde, ti-alsi-seoskohdemateriaali, jota käytetään laajasti koristeluun / kovaan pintaan ja toiminnallisiin pinnoite, arkkitehtoninen lasi, litteä näyttö/optinen valosähkö, optinen säilytys, elektroniikka, painatus ja muut ammatit.