Niobiumkohdemateriaaleja käytetään pääasiassa optisissa pinnoitteissa, pintatekniikan materiaalien pinnoittamisessa ja pinnoiteteollisuudessa, kuten lämmönkestävyydessä, korroosionkestävyydessä ja korkeassa johtavuudessa. Optisen pinnoitteen alalla sitä käytetään pääasiassa oftalmisissa optisissa tuotteissa, linsseissä, tarkkuusoptiikassa, laaja-alaisessa pinnoitteessa, 3D-pinnoitteessa ja muissa näkökohdissa.
Niobiumkohdemateriaalia kutsutaan yleensä paljaaksi maaliksi. Se hitsataan ensin kuparitakakohteeseen ja sitten sputteroidaan niobiumatomien kerrostamiseksi oksidien muodossa substraattimateriaalille, jolloin saadaan sputteroiva pinnoite. Niobiuman kohdeteknologian ja sovellusten jatkuvan syventymisen ja laajentamisen myötä niobiumin kohdemikrorakenteen yhtenäisyyden vaatimukset ovat lisääntyneet, mikä näkyy pääasiassa kolmessa aspektissa: raekoon hienostuneessa, ei ilmeistä rakenneorientaatiota ja parantunut kemiallinen puhtaus.
Mikrorakenteen ja ominaisuuksien tasainen jakautuminen kohteessa on ratkaisevan tärkeää niobiumikohdemateriaalien sputterointikyvyn varmistamiseksi. Teollisessa tuotannossa kohdattujen niobiumkohteiden pinnalla on yleensä säännöllisiä kuvioita, jotka vaikuttavat suuresti kohteiden ruiskutussuorituskykyyn. Miten voimme parantaa tavoitteiden käyttöastetta?
Tutkimusten avulla on havaittu, että epäpuhtauspitoisuus (tavoitepuhtaus) on tärkeä puhtauteen vaikuttava tekijä. Raaka-aineiden kemiallinen koostumus on epätasainen ja epäpuhtaudet rikastuvat. Myöhemmän valssauskäsittelyn jälkeen niobiumkohdemateriaalin pinnalle muodostuu säännöllisiä kuvioita; Raaka-ainekomponenttien epätasaisen jakautumisen ja epäpuhtauksien rikastamisen poistaminen voi välttää säännöllisten kuvioiden muodostumisen niobiumikohteiden pinnalle. Raekoon ja rakenteellisen koostumuksen vaikutus kohdemateriaaliin voi olla lähes mitätön.
Postitusaika: 19.6.2023