Sputteroivan kohdemateriaalin pääominaisuudet

Kohde täytyy olla nyt hyvin tuttu, nyt myös kohdemarkkinat kasvavat, seuraava on RSM:n editorin jakama sputterointikohteen pääsuorituskyky

　　Puhtaus

Kohdemateriaalin puhtaus on yksi tärkeimmistä suorituskykyindekseistä, koska kohdemateriaalin puhtaudella on suuri vaikutus ohutkalvon suorituskykyyn. Käytännössä kohdemateriaalien puhtausvaatimukset eivät kuitenkaan ole samat. Esimerkiksi mikroelektroniikkateollisuuden nopean kehityksen myötä piisirun koko on kehittynyt 6, 8:sta 12 tuumaan ja johdotuksen leveys on pienentynyt 0,5 um:sta 0,25 um:iin, 0,18 um:iin tai jopa 0,13 um:iin. Aikaisemmin kohdemateriaalin 99,995 %:n puhtaus voi täyttää prosessivaatimukset 0,35 umIC. Kohdemateriaalin puhtaus on 99,999 % tai jopa 99,9999 % 0,18 um linjojen valmistuksessa.

　　Epäpuhtauspitoisuus

Kohdekiintoaineen epäpuhtaudet sekä huokosissa oleva happi ja vesihöyry ovat kalvolaskeuman pääasiallisia saastelähteitä. Eri tarkoituksiin käytettävillä kohdemateriaaleilla on erilaiset vaatimukset eri epäpuhtauspitoisuuksille. Esimerkiksi puolijohdeteollisuudessa käytettävillä puhtailla alumiini- ja alumiiniseoskohteilla on erityisiä vaatimuksia alkalimetallien ja radioaktiivisten alkuaineiden pitoisuuksille.

　　Tiheys

Kohdekiintoaineen huokoisuuden vähentämiseksi ja sputterointikalvon suorituskyvyn parantamiseksi tarvitaan yleensä kohteen suurta tiheyttä. Kohteen tiheys ei vaikuta ainoastaan ​​sputterointinopeuteen, vaan myös kalvon sähköisiin ja optisiin ominaisuuksiin. Mitä suurempi tavoitetiheys, sitä parempi kalvon suorituskyky. Lisäksi kohteen tiheyden ja lujuuden lisääminen saa kohteen kestämään paremmin sputterointiprosessin lämpörasitusta. Tiheys on myös yksi tärkeimmistä tavoitteen suoritusindekseistä.

　　Raekoko ja raekokojakauma

Kohde on yleensä monikiteinen ja raekoko vaihtelee mikrometristä millimetriin. Samalla kohteella pienirakeisen kohteen sputterointinopeus on nopeampi kuin suurirakeisen kohteen. Sputterointikohteella kerrostettujen kalvojen paksuusjakauma pienemmällä raekokoerolla (tasainen jakautuminen) on tasaisempi.