انواع هدف کندوپاش مگنترونی چیست؟

اکنون بیشتر و بیشتر کاربران انواع اهداف وکاربردهای آن، اما ممکن است تقسیم بندی آن چندان روشن نباشد. حالا بیاییدمهندس RSM با شما به اشتراک بگذاردمقداری القاء از اهداف کندوپاش مگنترون.

هدف کندوپاش: هدف پوشش کندوپاش فلز، هدف پوشش کندوپاش آلیاژی، هدف پوشش کندوپاش سرامیکی، هدف کندوپاش سرامیکی بورید، هدف کندوپاش سرامیکی کاربید، هدف کندوپاش سرامیکی فلوراید، هدف کندوپاش سرامیکی نیترید، هدف سرامیکی سرامیکی نیترید هدف کندوپاش سرامیکی، هدف کندوپاش سرامیکی سولفیدی، هدف کندوپاش سرامیکی تلورید، سایر اهداف سرامیکی، هدف سرامیکی اکسید سیلیکون دوپ شده با کروم (CR SiO)، هدف فسفید ایندیوم (INP)، هدف آرسنید سرب (pbas)، هدف آرسنید ایندیم (InAs).

کندوپاش مگنترونی به طور کلی به دو نوع تقسیم می شود: کندوپاش DC و کندوپاش RF. اصل تجهیزات کندوپاش DC ساده است و سرعت آن در هنگام کندوپاش فلز نیز سریع است. کندوپاش RF به طور گسترده استفاده می شود. علاوه بر کندوپاش داده های رسانا، می تواند داده های غیر رسانا را نیز کندوپاش کند. هدف کندوپاش همچنین می تواند برای کندوپاش واکنشی برای تهیه داده های ترکیبی مانند اکسیدها، نیتریدها و کاربیدها استفاده شود. اگر فرکانس RF افزایش یابد، تبدیل به کندوپاش پلاسمای مایکروویو می شود. در حال حاضر، رزونانس سیکلوترون الکترون (ECR) کندوپاش پلاسما مایکروویو معمولا استفاده می شود.