الزامات عملکردی هدف چیست؟

هدف دارای بازار گسترده، منطقه کاربردی و توسعه بزرگ در آینده است. به منظور کمک به درک بهتر توابع هدف، در اینجا مهندس RSM به طور خلاصه الزامات عملکردی اصلی هدف را معرفی می کند.

خلوص: خلوص یکی از شاخص های اصلی عملکردی هدف است، زیرا خلوص هدف تأثیر زیادی بر عملکرد فیلم دارد. با این حال، در کاربرد عملی، الزامات خلوص هدف نیز متفاوت است. به عنوان مثال، با توسعه سریع صنعت میکروالکترونیک، اندازه ویفر سیلیکونی از 6 "به 8" به 12" افزایش می یابد و عرض سیم کشی از 0.5um به 0.25um، 0.18um یا حتی 0.13um کاهش می یابد. پیش از این، 99.995٪ از خلوص هدف می تواند الزامات فرآیند 0.35umic را برآورده کند، در حالی که آماده سازی خطوط 0.18um به 99.999٪ یا حتی 99.9999٪ از خلوص هدف نیاز دارد.

محتوای ناخالصی: ناخالصی‌ها در جامدات هدف و اکسیژن و بخار آب در منافذ، منابع اصلی آلودگی فیلم‌های رسوب‌شده هستند. اهداف برای مقاصد مختلف برای محتویات ناخالصی متفاوت الزامات متفاوتی دارند. به عنوان مثال، اهداف آلومینیم خالص و آلیاژ آلومینیوم مورد استفاده در صنعت نیمه هادی دارای الزامات خاصی برای محتوای فلز قلیایی و محتوای عناصر رادیواکتیو هستند.

چگالی: به منظور کاهش منافذ در جامد هدف و بهبود عملکرد فیلم کندوپاش، معمولاً هدف مورد نیاز است که چگالی بالایی داشته باشد. چگالی هدف نه تنها بر سرعت کندوپاش تأثیر می گذارد، بلکه بر عملکردهای الکتریکی و نوری فیلم نیز تأثیر می گذارد. هرچه چگالی هدف بیشتر باشد، عملکرد فیلم بهتر است. علاوه بر این، چگالی و استحکام هدف بهبود می یابد تا هدف بهتر بتواند تنش حرارتی را در فرآیند کندوپاش بپذیرد. تراکم نیز یکی از شاخص های عملکردی کلیدی هدف است.