انواع اهداف کندوپاش مغناطیسی

با افزایش تقاضای بازار، انواع بیشتری از اهداف کندوپاش دائما به روز می شوند. برخی برای مشتریان آشنا و برخی ناآشنا هستند. اکنون می خواهیم انواع اهداف کندوپاش مگنترون را با شما در میان بگذاریم.

هدف کندوپاش دارای انواع زیر است: هدف پوشش کندوپاش فلزی، هدف پوشش کندوپاش آلیاژی، هدف پوشش کندوپاش سرامیکی، هدف کندوپاش سرامیکی بورید، هدف کندوپاش سرامیکی کاربید، هدف کندوپاش سرامیکی فلوراید، هدف قرار دادن سرامیکی اکسید کننده سرامیک نیترید ، هدف کندوپاش سرامیکی سیلیسید، هدف کندوپاش سرامیکی سولفید، هدف کندوپاش سرامیکی تلوراید، سایر اهداف سرامیکی، هدف سرامیکی اکسید سیلیکون دوپ شده با کروم (CR SiO)، هدف فسفید ایندیم (INP)، هدف آرسنید سرب (pbas)، هدف آرسنید ایندیم (InA) .

کندوپاش مگنترونی به طور کلی به دو نوع تقسیم می شود: کندوپاش DC و کندوپاش RF. اصل تجهیزات کندوپاش DC ساده است و سرعت آن در هنگام کندوپاش فلز نیز سریع است. کندوپاش RF به طور گسترده استفاده می شود. علاوه بر کندوپاش داده های رسانا، می تواند داده های غیر رسانا را نیز کندوپاش کند. در همان زمان، هدف کندوپاش نیز کندوپاش واکنشی را برای تهیه داده های ترکیبی مانند اکسیدها، نیتریدها و کاربیدها انجام می دهد. اگر فرکانس RF افزایش یابد، تبدیل به کندوپاش پلاسمای مایکروویو می شود. در حال حاضر، رزونانس سیکلوترون الکترون (ECR) کندوپاش پلاسما مایکروویو معمولا استفاده می شود.