اقدامات احتیاطی برای اهداف آلیاژی

1- آماده سازی کندوپاش

تمیز نگه داشتن محفظه خلاء به خصوص سیستم کندوپاش بسیار مهم است. هر گونه باقیمانده ای که توسط روغن روان کننده، گرد و غبار و پوشش قبلی ایجاد شود، بخار آب و سایر آلاینده ها را جمع آوری می کند که مستقیماً بر درجه خلاء تأثیر می گذارد و احتمال خرابی تشکیل فیلم را افزایش می دهد. اتصال کوتاه یا قوس هدف، سطح فیلم ناهموار و محتوای ناخالصی شیمیایی بیش از حد اغلب توسط اتاقک کندوپاش ناپاک، تفنگ کندوپاش و هدف ایجاد می شود. برای رعایت ویژگی های ترکیب پوشش، لازم است گاز کندوپاش (آرگون یا اکسیژن) تمیز و خشک شود. پس از نصب بستر در محفظه کندوپاش، هوا باید استخراج شود تا به خلاء مورد نیاز فرآیند برسد. پوشش محافظ در ناحیه تاریک، دیواره حفره و سطح مجاور نیز باید تمیز نگه داشته شود. هنگام تمیز کردن محفظه خلاء، ما از انفجار گلوله‌ای شیشه‌ای برای درمان قطعات گرد و غبار، همراه با هوای فشرده برای حذف بقایای کندوپاش اولیه در اطراف محفظه استفاده می‌کنیم و سپس سطح خارجی را به آرامی با کاغذ سنباده آغشته به آلومینا جلا می‌دهیم. پس از صیقل دادن کاغذ گاز، آن را با الکل، استون و آب دیونیزه تمیز می کنند. با هم، از استفاده از جاروبرقی صنعتی برای تمیز کردن کمکی حمایت می کند. اهداف تولید شده توسط فلز گاوزان در کیسه های پلاستیکی مهر و موم شده با خلاء بسته بندی می شوند.

ساخته شده در عامل ضد رطوبت. هنگام استفاده از هدف، لطفاً هدف را مستقیماً با دست خود لمس نکنید. توجه: هنگام استفاده از هدف، لطفاً دستکش تمیز و بدون پرز بپوشید. هرگز هدف را مستقیماً با دستان خود لمس نکنید

2، تمیز کردن هدف

هدف از تمیز کردن هدف حذف گرد و غبار یا کثیفی است که ممکن است روی سطح هدف وجود داشته باشد.

هدف فلزی را می توان در چهار مرحله تمیز کرد،

اولین قدم این است که با یک پارچه نرم بدون پرز و آغشته به استون تمیز کنید.

مرحله دوم مشابه مرحله اول است، تمیز کردن با الکل.

مرحله 3: با آب دیونیزه تمیز کنید. پس از شستشو با آب دیونیزه، هدف را در فر قرار داده و در دمای 100 درجه سانتیگراد به مدت 30 دقیقه خشک کنید.

تمیز کردن اهداف اکسیدی و سرامیکی باید با "پارچه بدون پرز" انجام شود.

مرحله چهارم شستن هدف با آرگون با فشار زیاد و گاز کم آب پس از برداشتن ناحیه گرد و غبار است تا تمام ذرات ناخالصی که ممکن است در سیستم کندوپاش تشکیل قوس ایجاد کنند از بین برود.

3- دستگاه هدف

در فرآیند نصب هدف، اقدامات احتیاطی مهم Z اطمینان از اتصال رسانش حرارتی خوب بین هدف و دیواره خنک کننده تفنگ کندوپاش است. اگر تاب خوردگی میز خنک کننده شدید باشد یا تاب خوردگی صفحه پشتی شدید باشد، دستگاه مورد نظر ترک خورده یا خم می شود و رسانایی حرارتی از هدف عقب به هدف بسیار تحت تأثیر قرار می گیرد و در نتیجه اتلاف گرما از بین می رود. در فرآیند کندوپاش، و هدف شکسته یا از دست خواهد داد

به منظور اطمینان از هدایت حرارتی، یک لایه کاغذ گرافیتی را می توان بین دیوار خنک کننده کاتد و هدف قرار داد. لطفاً توجه داشته باشید که صافی دیواره خنک کننده تفنگ کندوپاش مورد استفاده را به دقت بررسی و مشخص کنید تا مطمئن شوید که O-ring همیشه در جای خود قرار دارد.

از آنجایی که تمیزی آب خنک کننده مصرفی و گرد و غباری که ممکن است در حین کار دستگاه ایجاد شود در مخزن آب خنک کننده کاتدی رسوب می کند، لازم است در هنگام نصب هدف، مخزن آب خنک کننده کاتدی بررسی و تمیز شود تا از صاف بودن آن اطمینان حاصل شود. گردش آب خنک کننده و اینکه ورودی و خروجی مسدود نخواهد شد.

برخی از کاتدها به گونه ای برنامه ریزی شده اند که فضای کمی با آند داشته باشند، بنابراین هنگام نصب هدف باید اطمینان حاصل شود که هیچ تماس یا هادی بین کاتد و آند وجود ندارد، در غیر این صورت اتصال کوتاه رخ می دهد.

برای اطلاعات در مورد نحوه عملکرد صحیح هدف، به دفترچه راهنمای اپراتور تجهیزات مراجعه کنید. در صورت عدم وجود چنین اطلاعاتی در دفترچه راهنمای کاربر، سعی کنید دستگاه را طبق پیشنهادات مربوطه ارائه شده توسط Gaozhan metal نصب کنید. هنگام سفت کردن فیکسچر هدف، ابتدا یک پیچ را با دست ببندید و سپس یک پیچ دیگر را روی مورب با دست ببندید. این کار را تا زمانی که تمام پیچ های دستگاه سفت شوند تکرار کنید و سپس با چیزی سفت کنید.

4، بازرسی اتصال کوتاه و سفتی

پس از تکمیل دستگاه هدف، لازم است اتصال کوتاه و سفتی کل کاتد بررسی شود.

برای تعیین اینکه آیا اتصال کوتاه در کاتد با استفاده از مقاومت سنج وجود دارد یا خیر پیشنهاد شده است

تبعیض ردیفی پس از تأیید عدم وجود اتصال کوتاه در کاتد، می توان نشت یابی را انجام داد و آب را به داخل کاتد وارد کرد تا از وجود نشت آب اطمینان حاصل شود.

5، قبل از کندوپاش هدف

پیش از کندوپاش هدف از کندوپاش آرگون خالص حمایت می کند که می تواند سطح هدف را تمیز کند. هنگامی که هدف از قبل پراکنده می شود، توصیه می شود به آرامی قدرت کندوپاش را افزایش دهید و نرخ افزایش توان هدف سرامیکی 1.5WH / cm2 است. سرعت قبل از کندوپاش هدف فلزی می تواند بالاتر از بلوک هدف سرامیکی باشد و نرخ افزایش توان معقول 1.5WH / cm2 است.

در فرآیند پیش کندوپاش، باید قوس هدف را بررسی کنیم. زمان قبل از کندوپاش معمولاً حدود 10 دقیقه است. در صورت عدم وجود پدیده قوس، به طور مداوم قدرت کندوپاش را افزایش دهید

به توان تنظیم شده با توجه به تجربه، Z قابل قبول قدرت کندوپاش بالا هدف فلزی است

25 وات / سانتی متر مربع، 10 وات / سانتی متر مربع برای هدف سرامیکی. لطفاً به اساس تنظیم و تجربه فشار محفظه خلاء در حین کندوپاش در کتابچه راهنمای عملکرد سیستم کاربر مراجعه کنید. به طور کلی، باید اطمینان حاصل شود که دمای آب در خروجی آب خنک کننده باید کمتر از 35 ℃ باشد، اما مهم است که اطمینان حاصل شود که سیستم گردش آب خنک کننده می تواند به طور موثر کار کند.

گردش سریع آب فوق خنک کننده گرما را از بین می برد، که تضمین مهمی برای اطمینان از کندوپاش مداوم با قدرت بالا است. برای اهداف فلزی، به طور کلی توصیه می شود که جریان آب خنک کننده است

فشار آب 20lpm حدود 5gmp است. برای اهداف سرامیکی، به طور کلی توصیه می شود که جریان آب 30lpm و فشار آب حدود 9gmp باشد.

6، تعمیر و نگهداری هدف

به منظور جلوگیری از اتصال کوتاه و ایجاد قوس ناشی از حفره ناپاک در فرآیند کندوپاش، لازم است پاشش انباشته شده در مرکز و دو طرف مسیر کندوپاش را به صورت مرحله ای حذف کرد.

این همچنین به کاربران کمک می کند تا به طور مداوم در چگالی توان بالای z به پاش بپردازند

7- ذخیره سازی هدف

اهداف ارائه شده توسط فلز Gaozhan در کیسه های پلاستیکی خلاء دو لایه بسته بندی می شوند. ما طرفدار آن هستیم که کاربران اهداف را، چه فلزی یا سرامیکی، در بسته بندی خلاء نگه دارند. به طور خاص، اهداف پیوند باید در شرایط خلاء ذخیره شوند تا از اکسیداسیون لایه پیوند بر کیفیت پیوند جلوگیری شود. با توجه به بسته بندی اهداف فلزی، ما طرفدار این هستیم که Z باید در کیسه های پلاستیکی تمیز بسته بندی شود