در مورد کاربرد و اصل فناوری هدف کندوپاش، برخی از مشتریان با RSM مشورت کرده‌اند، اکنون برای این مشکل که بیشتر نگران آن هستند، کارشناسان فنی برخی از دانش‌های مرتبط را به اشتراک می‌گذارند.
برنامه هدف sputtering:
ذرات باردار (مانند یون‌های آرگون) یک سطح جامد را بمباران می‌کنند و باعث می‌شوند که ذرات سطحی مانند اتم‌ها، مولکول‌ها یا دسته‌ها از سطح پدیده‌ای به نام "sputtering" فرار کنند. در پوشش کندوپاش مگنترون، یون‌های مثبت تولید شده توسط یونیزاسیون آرگون معمولاً برای بمباران جامد (هدف) استفاده می‌شوند و اتم‌های خنثی پراکنده شده روی زیرلایه (قطعه کار) قرار می‌گیرند تا یک لایه فیلم تشکیل دهند. پوشش کندوپاش مگنترون دو ویژگی دارد: "دمای پایین" و "سریع".
اصل کندوپاش مگنترون:
یک میدان مغناطیسی متعامد و میدان الکتریکی بین قطب هدف پراکنده شده (کاتد) و آند اضافه می شود و گاز بی اثر مورد نیاز (معمولا گاز Ar) در محفظه خلاء بالا پر می شود. آهنربای دائمی یک میدان مغناطیسی 250-350 گاوس را بر روی سطح ماده مورد نظر تشکیل می دهد و یک میدان الکترومغناطیسی متعامد را با میدان الکتریکی ولتاژ بالا تشکیل می دهد.
تحت عمل میدان الکتریکی، گاز Ar به یون‌ها و الکترون‌های مثبت یونیزه می‌شود و فشار منفی خاصی روی هدف وجود دارد، بنابراین الکترون‌های ساطع شده از قطب هدف تحت تأثیر میدان مغناطیسی و احتمال یونیزاسیون کار قرار می‌گیرند. گاز افزایش می یابد. پلاسمای با چگالی بالا در نزدیکی کاتد تشکیل می‌شود و یون‌های Ar تحت تأثیر نیروی لورنتس به سطح هدف شتاب می‌گیرند و سطح هدف را با سرعت زیاد بمباران می‌کنند، به طوری که اتم‌های پراکنده شده روی هدف از سطح هدف با شدت بالا فرار می‌کنند. انرژی جنبشی و پرواز به بستر برای تشکیل یک فیلم با توجه به اصل تبدیل حرکت.
کندوپاش مگنترونی به طور کلی به دو نوع تقسیم می شود: کندوپاش DC و کندوپاش RF. اصل تجهیزات کندوپاش DC ساده است و در هنگام کندوپاش فلز سرعت آن سریع است. استفاده از کندوپاش RF گسترده تر است، علاوه بر کندوپاش مواد رسانا، اما همچنین کندوپاش مواد غیر رسانا، اما همچنین آماده سازی کندوپاش واکنشی اکسیدها، نیتریدها و کاربیدها و سایر مواد ترکیبی است. اگر فرکانس RF افزایش یابد، تبدیل به کندوپاش پلاسما مایکروویو می شود. در حال حاضر، رزونانس سیکلوترون الکترون (ECR) از نوع کندوپاش پلاسما مایکروویو معمولا استفاده می شود.
زمان ارسال: آگوست-01-2022