بسیاری از کاربران خرید هدف را از منظر حرفه ای در نظر نمی گیرند، بنابراین در خرید هدف به چه نکاتی باید توجه کرد؟ بیایید از Xiaobian از Beijing Ruichi بخواهیم به مواردی که در هنگام خرید اهداف نیاز به توجه دارند اشاره کند.
اولاً، برای هدف، خلوص یکی از شاخص های عملکردی اصلی آن است و خلوص هدف تأثیر زیادی بر عملکرد فیلم محصول بعدی دارد. هر محصول همچنین دارای الزامات متفاوتی برای خلوص هدف است.
دوم، محتوای ناخالصی عناصر فردی در هدف. پس از یک سری پردازش هدف، ناخالصی‌های جامد هدف و اکسیژن و بخار آب موجود در منافذ، منابع اصلی آلودگی فیلم‌های رسوب‌شده هستند. با توجه به کاربردهای مختلف اهداف، الزامات برای محتوای ناخالصی مختلف اهداف با کاربردهای مختلف نیز متفاوت است. به عنوان مثال، اهداف آلومینیم خالص و آلیاژ آلومینیوم مورد استفاده در صنعت نیمه هادی اکنون دارای الزامات خاصی برای محتوای فلزات قلیایی و عناصر رادیواکتیو هستند.
چگالی نیز یکی از شاخص های مهم عملکرد هدف است در فرآیند فنی هدف، به منظور کاهش منافذ در جامد هدف و بهبود عملکرد فیلم پراکنده شده، عموماً هدف مورد نیاز است که چگالی بالایی داشته باشد. چگالی مشخصه اصلی هدف تأثیر زیادی بر سرعت کندوپاش دارد و بر عملکردهای الکتریکی و نوری فیلم تأثیر می گذارد. هرچه چگالی هدف بیشتر باشد، عملکرد فیلم بهتر است.
در نهایت اندازه دانه و توزیع دانه. معمولاً ماده مورد نظر پلی کریستالی است و اندازه دانه می تواند از میکرون تا میلی متر متغیر باشد. برای همان هدف، سرعت کندوپاش هدف دانه ریز سریعتر از هدف دانه درشت است. ضخامت لایه‌های رسوب‌شده توسط کندوپاش هدف با اختلاف اندازه دانه‌های کوچک (پراکندگی یکنواخت) یکنواخت‌تر است.
زمان ارسال: ژوئن-10-2022