مواد هدف پراکنده شده در حین استفاده، نه تنها برای خلوص و اندازه ذرات، بلکه برای اندازه یکنواخت ذرات نیز الزامات بالایی دارند. این الزامات بالا باعث می شود هنگام استفاده از مواد هدف کندوپاش توجه بیشتری داشته باشیم.
1. آماده سازی کندوپاش
حفظ پاکیزگی محفظه خلاء به ویژه سیستم کندوپاش بسیار مهم است. روان کننده ها، گرد و غبار و هر گونه باقیمانده از پوشش های قبلی می توانند آلاینده هایی مانند آب را جمع آوری کنند که مستقیماً بر خلاء تأثیر می گذارد و احتمال خرابی تشکیل فیلم را افزایش می دهد. مدارهای کوتاه، قوس‌های هدف، سطوح ناهموار تشکیل‌دهنده فیلم و ناخالصی‌های شیمیایی بیش از حد معمولاً توسط اتاق‌های کندوپاش، تفنگ‌ها و اهداف ناپاک ایجاد می‌شوند.
برای حفظ ویژگی های ترکیبی پوشش، گاز کندوپاش (آرگون یا اکسیژن) باید تمیز و خشک باشد. پس از نصب بستر در محفظه کندوپاش، برای رسیدن به سطح خلاء مورد نیاز برای فرآیند، هوا باید استخراج شود.
2. تمیز کردن هدف
هدف از تمیز کردن هدف حذف هر گونه گرد و غبار یا کثیفی است که ممکن است روی سطح هدف وجود داشته باشد.
3. نصب هدف
مهم ترین نکته ای که در هنگام نصب مواد هدف باید به آن توجه کرد، اطمینان از اتصال حرارتی خوب بین ماده هدف و دیواره خنک کننده تفنگ کندوپاش است. اگر دیوار خنک کننده یا صفحه پشتی به شدت تاب خورده باشد، ممکن است در هنگام نصب مواد مورد نظر باعث ترک خوردگی یا خمش شود. انتقال حرارت از هدف عقب به ماده مورد نظر به شدت تحت تأثیر قرار می گیرد و در نتیجه قادر به دفع گرما در حین کندوپاش نیست و در نهایت منجر به ترک خوردن یا انحراف ماده مورد نظر می شود.
4. اتصال کوتاه و بازرسی آب بندی
پس از نصب مواد مورد نظر، لازم است اتصال کوتاه و آب بندی کل کاتد بررسی شود. استفاده از اهم متر و مگاهم متر برای تعیین اتصال کوتاه کاتد توصیه می شود. پس از تأیید عدم اتصال کوتاه کاتد، می توان با تزریق آب به کاتد، نشت یابی را انجام داد تا مشخص شود که آیا نشتی وجود دارد یا خیر.
5. مواد هدف قبل از کندوپاش
استفاده از گاز آرگون خالص برای قبل از کندوپاش مواد مورد نظر توصیه می شود که می تواند سطح ماده مورد نظر را تمیز کند. توصیه می شود در طول فرآیند قبل از کندوپاش برای ماده مورد نظر، قدرت کندوپاش را به آرامی افزایش دهید. قدرت مواد هدف سرامیکی
زمان ارسال: اکتبر-19-2023