فناوری تهیه و کاربرد هدف تنگستن با خلوص بالا

با توجه به پایداری در دمای بالا، مقاومت بالای مهاجرت الکترون و ضریب انتشار الکترون بالا آلیاژهای تنگستن و تنگستن نسوز، اهداف تنگستن و آلیاژ تنگستن با خلوص بالا عمدتاً برای ساخت الکترودهای دروازه، سیم‌کشی اتصال، لایه‌های مانع انتشار و غیره نیمه هادی استفاده می‌شوند. مدارهای مجتمع و دارای الزامات بالایی برای خلوص، محتوای عنصر ناخالصی، چگالی، اندازه دانه و ساختار دانه یکنواختی مواد. حال بیایید نگاهی به عوامل موثر بر آماده سازی هدف تنگستن با خلوص بالا بیاندازیم.

　　1، اثر دمای تف جوشی

فرآیند تشکیل جنین هدف تنگستن عموماً با فشار ایزواستاتیک سرد انجام می شود. دانه تنگستن در طی فرآیند تف جوشی رشد خواهد کرد. رشد دانه تنگستن شکاف بین مرزهای دانه را پر می کند، بنابراین چگالی هدف تنگستن را بهبود می بخشد. با افزایش زمان پخت، افزایش چگالی هدف تنگستن به تدریج کند می شود. دلیل اصلی این است که پس از پخت چندگانه، کیفیت هدف تنگستن تغییر چندانی نکرده است. از آنجایی که بیشتر حفره‌های مرز دانه با کریستال‌های تنگستن پر شده‌اند، پس از هر تف جوشی، نرخ تغییر اندازه کلی هدف تنگستن بسیار کم بوده است و در نتیجه فضای محدودی برای افزایش چگالی هدف تنگستن ایجاد می‌شود. با فرآیند تف جوشی، دانه های تنگستن رشد کرده در حفره ها پر می شوند و در نتیجه چگالی بالاتر هدف با اندازه ذرات کوچکتر ایجاد می شود.

　　2- تأثیر زمان نگهداری

در همان دمای تف جوشی، فشردگی هدف تنگستن با طولانی شدن زمان نگهداری تف جوشی بهبود می یابد. با طولانی شدن زمان نگهداری، اندازه دانه تنگستن افزایش می‌یابد و با طولانی‌تر شدن زمان نگهداری، زمان‌های رشد اندازه دانه به تدریج کاهش می‌یابد، به این معنی که افزایش زمان نگهداری می‌تواند عملکرد دستگاه را نیز بهبود بخشد. هدف تنگستن

　　3، اثر نورد بر خواص هدف

به منظور بهبود چگالی مواد هدف تنگستن و به دست آوردن ساختار پردازش مواد هدف تنگستن، نورد دمای متوسط ​​مواد هدف تنگستن باید زیر دمای تبلور مجدد انجام شود. اگر دمای نورد بیلت هدف بالا باشد، ساختار الیاف بیلت هدف درشت خواهد بود و بالعکس. هنگامی که نرخ نورد گرم به بیش از 95٪ می رسد. اگرچه تفاوت در ساختار الیاف ناشی از دانه های اصلی مختلف یا دماهای مختلف نورد حذف خواهد شد، ساختار داخلی هدف یک ساختار الیاف نسبتا یکنواخت را تشکیل می دهد، بنابراین هر چه سرعت پردازش نورد گرم بیشتر باشد، عملکرد هدف بهتر است.