دانش تعمیر و نگهداری از هدف کندوپاش

بسیاری از دوستان در مورد تعمیر و نگهداری هدف سوالات کم و بیش وجود دارد، اخیراً مشتریان زیادی نیز در مورد تعمیر و نگهداری مشکلات مربوط به هدف مشاوره می کنند، اجازه دهید ویرایشگر RSM برای ما در مورد دانش تعمیر و نگهداری هدف sputtering به اشتراک بگذارد.

　　اهداف پراکنده چگونه باید حفظ شوند؟

　　1، تعمیر و نگهداری هدف

به منظور جلوگیری از اتصال کوتاه و ایجاد قوس ناشی از حفره ناپاک در فرآیند کندوپاش، لازم است به صورت دوره ای کندوپاش های انباشته شده در وسط و دو طرف مسیر کندوپاش را حذف کنید، که همچنین به کاربران کمک می کند تا به طور مداوم در چگالی توان بالا پاشش کنند.

　　2- ذخیره سازی هدف

ما توصیه می کنیم که کاربران هدف (چه فلز یا سرامیک) را در بسته بندی خلاء ذخیره کنند، به خصوص هدف اتصال باید در خلاء ذخیره شود تا از اکسید شدن لایه اتصالات بر کیفیت اتصالات جلوگیری شود. در مورد بسته بندی اهداف فلزی، پیشنهاد می کنیم حداقل در کیسه های پلاستیکی تمیز بسته بندی شوند.

　　3، تمیز کردن هدف

اولین قدم این است که با یک پارچه نرم بدون پرز و آغشته به استون تمیز کنید.

مرحله دوم مشابه مرحله اول است، تمیز کردن با الکل.

مرحله 3: با آب دیونیزه تمیز کنید. پس از تمیز کردن با آب دیونیزه شده، هدف را در فر قرار داده و در دمای 100 درجه سانتیگراد به مدت 30 دقیقه خشک کنید. پیشنهاد می شود از "پارچه بدون پرز" برای تمیز کردن اهداف اکسیدی و سرامیکی استفاده شود.

مرحله چهارم شستن هدف با آرگون با فشار زیاد و رطوبت کم است تا ذرات ناخالصی که ممکن است باعث ایجاد قوس در سیستم کندوپاش شود از بین برود.

　　4- بررسی اتصال کوتاه و سفتی

پس از نصب هدف، کل کاتد باید از نظر اتصال کوتاه و سفتی بررسی شود. توصیه می شود با استفاده از مقاومت سنج و میگر قضاوت کنید که آیا اتصال کوتاه در کاتد وجود دارد یا خیر. پس از تأیید عدم وجود اتصال کوتاه در کاتد، می توان نشت آب را بررسی کرد و آب را به داخل کاتد وارد کرد تا مشخص شود که آیا نشتی آب وجود دارد یا خیر.

　　5- بسته بندی و حمل و نقل

همه اهداف در کیسه های پلاستیکی مهر و موم شده با خلاء با عامل ضد رطوبت بسته بندی می شوند. بسته بیرونی به طور کلی جعبه چوبی با لایه ضد برخورد در اطراف برای محافظت از هدف و هواپیمای پشتی در برابر آسیب در هنگام حمل و نقل و ذخیره سازی است.