اهداف مولیبدن پراکنده شده به دلیل مزایای ذاتی آنها به طور گسترده در صنایع الکترونیک، سلول های خورشیدی، پوشش شیشه و سایر زمینه ها استفاده شده است. با توسعه سریع فناوری مدرن در کوچک سازی، یکپارچه سازی، دیجیتالی کردن و هوشمندسازی، استفاده از اهداف مولیبدن همچنان افزایش می یابد و الزامات کیفی برای آنها نیز به طور فزاینده ای افزایش می یابد. بنابراین ما باید راه هایی برای بهبود میزان استفاده از اهداف مولیبدن پیدا کنیم. اکنون، ویرایشگر RSM چندین روش را برای بهبود میزان استفاده از اهداف مولیبدن کندوپاش برای همه معرفی خواهد کرد.
1. سیم پیچ الکترومغناطیسی را در سمت عقب اضافه کنید
به منظور بهبود میزان استفاده از هدف مولیبدن پراکنده شده، می توان یک سیم پیچ الکترومغناطیسی را در سمت عقب هدف مولیبدن کندوپاش مگنترون مسطح اضافه کرد و میدان مغناطیسی روی سطح هدف مولیبدن را می توان با افزایش جریان افزایش داد. سیم پیچ الکترومغناطیسی، به طوری که نرخ استفاده از هدف مولیبدن را بهبود بخشد.
2. مواد هدف دوار لوله ای را انتخاب کنید
در مقایسه با اهداف مسطح، انتخاب ساختار هدف دوار لوله‌ای، مزایای اساسی آن را برجسته می‌کند. به طور کلی، میزان استفاده از اهداف صاف تنها 30٪ تا 50٪ است، در حالی که نرخ استفاده از اهداف چرخان لوله می تواند به بیش از 80٪ برسد. علاوه بر این، هنگام استفاده از هدف پراکنده مگنترون لوله توخالی دوار، از آنجایی که هدف می تواند همیشه در اطراف مجموعه آهنربای میله ثابت بچرخد، روی سطح آن رسوب مجدد نخواهد داشت، بنابراین عمر هدف دوار عموماً بیش از 5 برابر بیشتر است. نسبت به هدف هواپیما
3. با تجهیزات کندوپاش جدید جایگزین کنید
کلید بهبود میزان استفاده از مواد هدف، تکمیل جایگزینی تجهیزات کندوپاش است. در طول فرآیند کندوپاش کردن مواد هدف کندوپاش مولیبدن، حدود یک ششم اتم های کندوپاش پس از برخورد یون های هیدروژن بر روی دیواره یا براکت اتاق خلاء رسوب می کنند و هزینه تمیز کردن تجهیزات خلاء و زمان خرابی را افزایش می دهند. بنابراین جایگزینی تجهیزات کندوپاش جدید نیز می تواند به بهبود میزان استفاده از اهداف کندوپاش مولیبدن کمک کند.
زمان ارسال: مه-24-2023