چشم انداز توسعه هدف مس با خلوص بالا

در حال حاضر، تقریباً تمام اهداف مس فلزی با درجه خلوص فوق العاده بالا مورد نیاز صنعت آی سی در انحصار چندین شرکت بزرگ چند ملیتی خارجی است. تمام اهداف مس فوق خالص مورد نیاز صنعت داخلی آی سی نیاز به واردات دارد که نه تنها گران است، بلکه در فرآیندهای واردات نیز پیچیده است، بنابراین، چین به سرعت نیاز به بهبود توسعه و تأیید اهداف کندوپاش مس با خلوص فوق العاده بالا (6N) دارد. . بیایید نگاهی به نکات کلیدی و مشکلات در توسعه اهداف کندوپاش مس با خلوص فوق العاده بالا (6N) بیندازیم.

1،توسعه مواد با خلوص فوق العاده بالا

فن آوری خالص سازی فلزات مس، آل و تا با خلوص بالا در چین با کشورهای توسعه یافته صنعتی فاصله زیادی دارد. در حال حاضر، اکثر فلزات با خلوص بالا که می‌توان ارائه کرد، نمی‌توانند الزامات کیفی مدارهای مجتمع برای اهداف کندوپاش را مطابق با روش‌های مرسوم آنالیز تمام عناصر در صنعت برآورده کنند. تعداد گنجاندن در هدف بسیار زیاد یا به طور ناموزون توزیع شده است. ذرات اغلب بر روی ویفر در حین کندوپاش تشکیل می شوند که منجر به اتصال کوتاه یا مدار باز اتصال می شود که به طور جدی بر عملکرد فیلم تأثیر می گذارد.

2،توسعه فن آوری آماده سازی هدف کندوپاش مس

توسعه فناوری آماده سازی هدف کندوپاش مس عمدتاً بر سه جنبه تمرکز دارد: اندازه دانه، کنترل جهت گیری و یکنواختی. صنعت نیمه هادی بالاترین نیاز را برای اهداف کندوپاش و تبخیر مواد خام دارد. برای کنترل اندازه دانه سطحی و جهت گیری کریستالی هدف الزامات بسیار سختی دارد. اندازه دانه هدف باید در 100 کنترل شودμ M زیر، بنابراین، کنترل اندازه دانه و ابزار تجزیه و تحلیل و تشخیص همبستگی برای توسعه اهداف فلزی بسیار مهم است.

3،توسعه تحلیل وتست کردن تکنولوژی

خلوص بالای هدف به معنای کاهش ناخالصی ها است. در گذشته، پلاسمای جفت شده القایی (ICP) و طیف سنجی جذب اتمی برای تعیین ناخالصی ها استفاده می شد، اما در سال های اخیر، تجزیه و تحلیل کیفیت تخلیه تابشی (GDMS) با حساسیت بالاتر به تدریج به عنوان استاندارد مورد استفاده قرار گرفته است. روش. روش RRR نسبت مقاومت باقیمانده عمدتاً برای تعیین خلوص الکتریکی استفاده می شود. اصل تعیین آن ارزیابی خلوص فلز پایه با اندازه گیری درجه پراکندگی الکترونیکی ناخالصی ها است. از آنجا که اندازه گیری مقاومت در دمای اتاق و دمای بسیار پایین است، گرفتن عدد ساده است. در سال های اخیر، به منظور کشف ذات فلزات، تحقیقات در مورد خلوص فوق العاده بالا بسیار فعال است. در این مورد، مقدار RRR بهترین راه برای ارزیابی خلوص است.