طبقه بندی و کاربرد اهداف کندوپاش مگنترونی

　　1. روش کندوپاش مگنترونی:

کندوپاش مگنترونی را می توان به کندوپاش DC، کندوپاش با فرکانس متوسط ​​و کندوپاش RF تقسیم کرد.

الف. منبع تغذیه کندوپاش DC ارزان است و چگالی فیلم رسوب‌شده ضعیف است. به طور کلی، باتری های فتوترمال خانگی و لایه نازک با انرژی کم استفاده می شود و هدف کندوپاش هدف فلزی رسانا است.

ب. انرژی کندوپاش RF زیاد است و هدف کندوپاش می تواند هدف غیر رسانا یا هدف رسانا باشد.

ج. هدف کندوپاش فرکانس متوسط ​​می تواند هدف سرامیکی یا هدف فلزی باشد.

　　2. طبقه بندی و کاربرد اهداف کندوپاش

انواع مختلفی از اهداف کندوپاش وجود دارد و روش های طبقه بندی هدف نیز متفاوت است. با توجه به شکل، آنها به هدف بلند، هدف مربع و هدف گرد تقسیم می شوند. با توجه به ترکیب، می توان آن را به هدف فلزی، هدف آلیاژی و هدف ترکیبی سرامیکی تقسیم کرد. با توجه به زمینه های کاربردی مختلف، می توان آن را به اهداف سرامیکی مربوط به نیمه هادی، اهداف سرامیکی متوسط ​​ثبت، اهداف سرامیکی نمایشگر و غیره تقسیم کرد. اهداف کندوپاش عمدتاً در صنایع الکترونیک و اطلاعات، مانند صنعت ذخیره سازی اطلاعات استفاده می شود. در این صنعت از اهداف کندوپاش برای تهیه محصولات لایه نازک مربوطه (هارد دیسک، هد مغناطیسی، دیسک نوری و غیره) استفاده می شود. در حال حاضر. با توسعه مداوم صنعت اطلاعات، تقاضا برای ثبت اهداف سرامیکی متوسط ​​در بازار افزایش می یابد. تحقیق و تولید اهداف رسانه ضبط شده در کانون توجه گسترده قرار گرفته است.