الزامات مشخصه هدف کندوپاش مولیبدن

اخیراً بسیاری از دوستان در مورد ویژگی های اهداف کندوپاش مولیبدن سؤال کردند. در صنعت الکترونیک، به منظور بهبود راندمان کندوپاش و اطمینان از کیفیت فیلم‌های رسوب‌شده، ویژگی‌های اهداف کندوپاش مولیبدن چیست؟ حالا کارشناسان فنی RSM برای ما توضیح خواهند داد.

　　1. خلوص

خلوص بالا یک نیاز مشخصه اصلی هدف کندوپاش مولیبدن است. هرچه خلوص هدف مولیبدن بالاتر باشد، عملکرد فیلم پراکنده بهتر است. به طور کلی، خلوص هدف کندوپاش مولیبدن باید حداقل 99.95٪ باشد (کسر جرمی، همان زیر). با این حال، با بهبود مستمر اندازه زیرلایه شیشه در صنعت LCD، طول سیم‌کشی باید کشیده شود و عرض خط نازک‌تر شود. به منظور اطمینان از یکنواختی فیلم و کیفیت سیم کشی، خلوص هدف کندوپاش مولیبدن نیز بر این اساس مورد نیاز است. بنابراین، با توجه به اندازه زیر لایه شیشه پراکنده و محیط استفاده، خلوص هدف کندوپاش مولیبدن باید 99.99٪ - 99.999٪ یا حتی بیشتر باشد.

هدف کندوپاش مولیبدن به عنوان منبع کاتدی در کندوپاش استفاده می شود. ناخالصی‌های جامد و اکسیژن و بخار آب در منافذ، منابع اصلی آلودگی فیلم‌های رسوب‌شده هستند. علاوه بر این، در صنعت الکترونیک، به دلیل اینکه یون‌های فلز قلیایی (Na, K) به راحتی تبدیل به یون‌های متحرک در لایه عایق می‌شوند، عملکرد دستگاه اصلی کاهش می‌یابد. عناصری مانند اورانیوم (U) و تیتانیوم (TI) پرتو ایکس α منتشر می‌شوند که منجر به تجزیه نرم دستگاه‌ها می‌شود. یون های آهن و نیکل باعث نشت رابط و افزایش عناصر اکسیژن می شوند. بنابراین، در فرآیند آماده سازی هدف کندوپاش مولیبدن، این عناصر ناخالصی باید به شدت کنترل شوند تا محتوای آنها در هدف به حداقل برسد.

　　2. اندازه دانه و توزیع اندازه

به طور کلی، هدف کندوپاش مولیبدن ساختار پلی کریستالی است و اندازه دانه می تواند از میکرون تا میلی متر متغیر باشد. نتایج تجربی نشان می دهد که سرعت کندوپاش هدف دانه ریز سریعتر از هدف دانه درشت است. برای هدف با اختلاف اندازه دانه کوچک، توزیع ضخامت لایه رسوب‌شده نیز یکنواخت‌تر است.

　　3. جهت گیری کریستالی

از آنجایی که اتم‌های هدف در طول کندوپاش به راحتی در جهت نزدیک‌ترین آرایش اتم‌ها در جهت شش ضلعی پراکنده می‌شوند، برای دستیابی به بالاترین سرعت کندوپاش، سرعت کندوپاش اغلب با تغییر ساختار بلوری هدف افزایش می‌یابد. جهت کریستالی هدف نیز تأثیر زیادی بر یکنواختی ضخامت فیلم پراکنده شده دارد. بنابراین، به دست آوردن یک ساختار هدف کریستالی معین برای فرآیند کندوپاش فیلم بسیار مهم است.

　　4. متراکم شدن

در فرآیند پوشش کندوپاش، زمانی که هدف کندوپاش با چگالی کم بمباران می شود، گاز موجود در منافذ داخلی هدف به طور ناگهانی آزاد می شود و در نتیجه ذرات یا ذرات هدف با اندازه بزرگ پاشیده می شود یا مواد فیلم بمباران می شود. توسط الکترون های ثانویه پس از تشکیل فیلم، که منجر به پاشش ذرات می شود. ظاهر این ذرات باعث کاهش کیفیت فیلم می شود. به منظور کاهش منافذ در جامد هدف و بهبود عملکرد فیلم، هدف کندوپاش معمولاً باید چگالی بالایی داشته باشد. برای هدف کندوپاش مولیبدن، چگالی نسبی آن باید بیش از 98٪ باشد.

　　5. صحافی هدف و شاسی

به طور کلی، هدف کندوپاش مولیبدن باید قبل از کندوپاش با شاسی بدون اکسیژن مس (یا آلومینیوم و سایر مواد) متصل شود تا هدایت حرارتی هدف و شاسی در طول فرآیند کندوپاش خوب باشد. پس از اتصال، بازرسی اولتراسونیک باید انجام شود تا اطمینان حاصل شود که ناحیه غیر پیوندی این دو کمتر از 2٪ است تا نیازهای کندوپاش با قدرت بالا بدون افتادن برآورده شود.