شکاف در اهداف کندوپاش معمولاً در اهداف کندوپاش سرامیکی مانند اکسیدها، کاربیدها، نیتریدها و مواد شکننده مانند کروم، آنتیموان، بیسموت رخ می دهد. حال اجازه دهید کارشناسان فنی RSM توضیح دهند که چرا هدف sputtering ترک می خورد و برای جلوگیری از این وضعیت چه اقدامات پیشگیرانه ای می توان انجام داد.
اهداف سرامیکی یا مواد شکننده همیشه دارای تنش های ذاتی هستند. این تنش های داخلی در فرآیند تولید هدف ایجاد می شوند. علاوه بر این، این تنش ها به طور کامل با فرآیند بازپخت از بین نمی روند، زیرا ویژگی های ذاتی این مواد هستند. در فرآیند کندوپاش، بمباران یون‌های گاز، تکانه آنها را به اتم‌های هدف منتقل می‌کند و انرژی کافی برای جدا کردن آنها از شبکه را در اختیار آنها قرار می‌دهد. این انتقال حرکت گرمازا باعث افزایش دمای هدف می شود که ممکن است در سطح اتمی به 1000000 ℃ برسد.
این شوک های حرارتی تنش داخلی موجود در هدف را تا چند برابر افزایش می دهد. در این حالت، اگر گرما به درستی دفع نشود، ممکن است هدف بشکند. برای جلوگیری از ترک خوردگی هدف، باید بر اتلاف گرما تاکید شود. مکانیزم خنک کننده آب برای حذف انرژی گرمایی ناخواسته از هدف مورد نیاز است. موضوع دیگری که باید در نظر گرفت افزایش قدرت است. استفاده بیش از حد انرژی در مدت زمان کوتاه نیز باعث ایجاد شوک حرارتی به هدف می شود. علاوه بر این، ما پیشنهاد می کنیم این اهداف را به هواپیمای پشتی متصل کنید، که نه تنها می تواند پشتیبانی از هدف را فراهم کند، بلکه تبادل حرارتی بهتری را بین هدف و آب ایجاد می کند. اگر هدف دارای ترک باشد اما با صفحه پشتی چسبیده باشد، همچنان می توان از آن استفاده کرد.
Rich Special Materials Co., Ltd. می تواند اهداف کندوپاش را با هواپیمای پشتی فراهم کند. می توان آن را با توجه به نیاز مشتری از مواد، ضخامت و نوع اتصال سفارشی کرد.
زمان ارسال: سپتامبر 21-2022