زمینه های کاربردی اهداف کندوپاش

همانطور که همه ما می دانیم، مشخصات بسیاری از اهداف کندوپاش وجود دارد و زمینه های کاربردی آنها نیز بسیار گسترده است. انواع اهدافی که معمولا در زمینه های مختلف استفاده می شود نیز متفاوت است. امروز، بیایید با طبقه بندی فیلدهای کاربردی هدف sputtering با ویرایشگر RSM آشنا شویم!

　　1. تعریف هدف کندوپاش

کندوپاش یکی از فناوری های اصلی برای تهیه مواد لایه نازک است. از یون های تولید شده توسط منبع یون برای شتاب گرفتن و جمع شدن در خلاء استفاده می کند تا یک پرتو یونی پرسرعت تشکیل دهد، سطح جامد را بمباران کند و یون ها انرژی جنبشی را با اتم های روی سطح جامد مبادله کنند، به طوری که اتم های روی جامد. سطح از جامد جدا شده و بر روی سطح بستر رسوب می شود. جامد بمباران شده ماده خام برای تهیه لایه نازک رسوب شده توسط کندوپاش است که به آن هدف کندوپاشی می گویند.

　　2، طبقه بندی زمینه های کاربردی هدف کندوپاش

　1. هدف نیمه هادی

(1) اهداف مشترک: اهداف رایج در این زمینه شامل فلزات با نقطه ذوب بالا مانند تانتالیوم / مس / تیتانیوم / آلومینیوم / طلا / نیکل است.

(2) استفاده: عمدتاً به عنوان مواد خام کلیدی برای مدارهای مجتمع استفاده می شود.

(3) الزامات عملکرد: الزامات فنی بالا برای خلوص، اندازه، ادغام و غیره.

　　2. هدف برای صفحه نمایش تخت

(1) اهداف مشترک: اهداف رایج در این زمینه شامل آلومینیوم / مس / مولیبدن / نیکل / نیوبیم / سیلیکون / کروم و غیره است.

(2) استفاده: این نوع هدف بیشتر برای انواع مختلف فیلم های بزرگ مانند تلویزیون و نوت بوک استفاده می شود.

(3) الزامات عملکرد: الزامات بالا برای خلوص، مساحت بزرگ، یکنواختی و غیره.

　　3. مواد هدف برای سلول خورشیدی

(1) اهداف مشترک: آلومینیوم / مس / مولیبدن / کروم / ITO / تا و سایر اهداف برای سلول های خورشیدی.

(2) استفاده: عمدتا در "لایه پنجره"، لایه مانع، الکترود و فیلم رسانا استفاده می شود.

(3) الزامات عملکرد: الزامات فنی بالا و دامنه کاربرد گسترده.

　　4. هدف برای ذخیره سازی اطلاعات

(1) اهداف مشترک: اهداف مشترک کبالت / نیکل / فروآلیاژ / کروم / تلوریم / سلنیوم و سایر مواد برای ذخیره سازی اطلاعات.

(2) استفاده: این نوع مواد هدف عمدتا برای سر مغناطیسی، لایه میانی و لایه پایین درایو نوری و دیسک نوری استفاده می شود.

(3) الزامات عملکرد: چگالی ذخیره سازی بالا و سرعت انتقال بالا مورد نیاز است.

　　5. هدف برای اصلاح ابزار

(1) اهداف مشترک: اهداف رایج مانند آلیاژ آلومینیوم تیتانیوم / زیرکونیوم / کروم که توسط ابزار اصلاح شده است.

(2) استفاده: معمولاً برای تقویت سطح استفاده می شود.

(3) الزامات عملکرد: الزامات عملکرد بالا و عمر طولانی.

　　6. اهداف برای دستگاه های الکترونیکی

(1) اهداف مشترک: اهداف مشترک آلیاژ آلومینیوم / سیلیسید برای دستگاه های الکترونیکی

(2) هدف: به طور کلی برای مقاومت ها و خازن های فیلم نازک استفاده می شود.

(3) الزامات عملکرد: اندازه کوچک، پایداری، ضریب دمای مقاومت پایین