Orain gero eta erabiltzaile gehiagok ulertzen dituzte helburu motak etabere aplikazioak, baina horren zatiketa baliteke oso argia ez izatea. Orain goazenRSM ingeniaria partekatu zurekinindukzio batzuk magnetron sputtering helburuak.
Sputtering helburua: metalezko sputtering estaldura helburua, aleazio sputtering estaldura helburua, zeramika sputtering estaldura helburua, boruro zeramikazko sputtering helburua, karburo zeramikazko sputtering helburua, fluoruro zeramikazko sputtering helburua, nitruro zeramikazko sputtering helburua, oxido zeramikazko helburua, seleniuro zeramikazko siliziozko sputtering helburua, helburua, sulfuro zeramikazko sputtering Helburua, zeramikazko teluridoa sputtering helburua, beste zeramikazko helburuak, Kromozko dopatutako silizio oxidozko zeramikazko helburua (CR SiO), indio fosfuroa helburua (INP), berun arseniuroa helburua (pbas), indio arseniuroa helburua (InAs).
Magnetron sputtering orokorrean bi motatan banatzen da: DC sputtering eta RF sputtering. DC sputtering ekipoen printzipioa sinplea da, eta bere abiadura ere azkarra da metala sputtering denean. RF sputtering asko erabiltzen da. Datu eroaleak sputtering gain, sputtering ez-eroale datuak ere egin ditzake. Sputtering helburua sputtering erreaktiborako ere erabil daiteke konposatuen datuak prestatzeko, hala nola oxidoak, nitruroak eta karburoak. RF maiztasuna handitzen bada, mikrouhinen plasma sputtering bihurtuko da. Gaur egun, elektroi ziklotroi erresonantzia (ECR) mikrouhin plasma sputtering erabiltzen da normalean.
Argitalpenaren ordua: 2022-05-26