1, Sputtering prestatzea
Oso garrantzitsua da huts-ganbera, batez ere sputtering sistema garbi mantentzea. Olio lubrifikatzaileak, hautsak eta aurreko estaldurak sortutako hondakin orok ur-lurruna eta beste kutsatzaile batzuk bilduko ditu, eta horrek huts-graduari zuzenean eragingo dio eta filma osatzeko porrota izateko aukera areagotuko du. Zirkuitu laburrak edo xede-arkuak, filmaren gainazal zakarra eta gehiegizko ezpurutasun kimikoen edukia sarritan sputtering ganbera, sputtering pistola eta helburuak eragiten dute. Estalduraren konposizio-ezaugarrietara atxikitzeko, beharrezkoa da sputtering gasa (argona edo oxigenoa) garbitzea eta lehortzea. Substratua sputtering ganberan instalatu ondoren, airea atera behar da prozesuak eskatzen duen hutsunera iristeko. Eremu iluneko estalkia, barrunbeko horma eta ondoko gainazalean ere garbi mantendu behar dira. Hutseko ganbara garbitzean, hautsez betetako piezak tratatzeko kristalezko bola-leherketa erabiltzea defendatzen dugu, aire konprimituarekin batera, ganbararen inguruko sputtering-hondakin goiztiarrak kentzeko, eta, ondoren, kanpoko gainazala isilik leundu aluminazko lixa-paperarekin. Gaza papera leundu ondoren, alkoholarekin, azetonarekin eta ur deionizatuarekin garbitzen da. Elkarrekin, garbiketa osagarrietarako xurgagailu industriala erabiltzea defendatzen du. Gaozhan metalak ekoitzitako helburuak hutsean itxitako plastikozko poltsetan ontziratzen dira,
Hezetasunaren aurkako agentean eraikia. Helburua erabiltzean, mesedez, ez ukitu xedea eskuarekin zuzenean. Oharra: helburua erabiltzean, mesedez, jantzi garbi eta lipurrik gabeko eskularruak mantentzeko. Inoiz ez ukitu xedea eskuekin zuzenean
2、 Helburuen garbiketa
Helburua garbitzearen helburua xedearen gainazalean egon daitekeen hautsa edo zikinkeria kentzea da.
Metalezko helburua lau urratsetan garbi daiteke,
Lehen urratsa azetonan bustitako lilurik gabeko zapi leun batekin garbitzea da;
Bigarren urratsa lehen urratsaren antzekoa da, alkoholarekin garbitzea;
3. urratsa: garbitu ur deionizatuarekin. Ur deionizatuarekin garbitu ondoren, jarri helburua labean eta lehortu 100 ℃-tan 30 minutuz.
Oxidoen eta zeramikazko helburuen garbiketa "lilurik gabeko oihalarekin" egingo da.
Laugarren urratsa helburua presio handiko eta ur baxuko gasarekin argonarekin garbitzea da hautsez betetako eremua kendu ondoren, sputtering sisteman arkua sor dezaketen ezpurutasun partikula guztiak kentzeko.
3、 Helburuko gailua
Helburua instalatzeko prozesuan, Z neurri garrantzitsuak dira helburuaren eta sputtering pistolaren hozte-hormaren arteko eroankortasun termikoko konexio ona bermatzea. Hozte-oihalaren deformazioa larria bada edo atzeko plakaren deformazioa larria bada, xede gailua pitzatu edo okertuko da, eta atzeko xedetik xedera eroankortasun termikoa asko eragingo du, beroa xahutzearen porrota eraginez. sputtering prozesuan, eta helburua pitzatu edo galdu egingo da
Eroankortasun termikoa bermatzeko, grafitozko paper geruza bat bete daiteke katodoaren hozte hormaren eta xedearen artean. Mesedez, arreta jarri arretaz egiaztatzeko eta garbitzeko erabilitako sputtering-pistolaren hozte-hormaren lautasuna, O-eraztuna beti lekuan dagoela ziurtatzeko.
Erabilitako hozte-uraren garbitasuna eta ekipoaren funtzionamenduan gerta daitekeen hautsa katodoko hozte-uren deposituan metatuko direnez, beharrezkoa da katodo-hozte-uraren depositua egiaztatu eta garbitzea helburua instalatzean. hozte-uraren zirkulazioa eta sarrera eta irteera ez direla blokeatuko.
Katodo batzuek anodoarekin espazio txiki bat izatea aurreikusita dago, beraz, helburua instalatzean, katodoaren eta anodoaren artean ukitu edo eroalerik ez dagoela ziurtatu behar da, bestela zirkuitu labur bat gertatuko da.
Ikusi ekipamenduaren operadorearen eskuliburua helburua behar bezala funtzionatzeko informazioa lortzeko. Erabiltzailearen eskuliburuan horrelako informaziorik ez badago, saiatu gailua instalatzen Gaozhan metalek emandako iradokizunen arabera. Helburua estutzean, lehenik eta behin eskuz estutu torloju bat, eta gero eskuz diagonalean dagoen beste torloju bat. Errepikatu hau gailuko torloju guztiak estutu arte, eta gero estutu zerbaitekin.
4、 Zirkuitu laburra eta estankotasuna ikuskatzea
Helburuko gailua amaitu ondoren, katodo osoaren zirkuitu laburra eta estutasuna egiaztatu behar da,
Erresistentzia neurgailu bat erabiliz katodoan zirkuitu laburrik dagoen ala ez zehaztea proposatzen da
Errenkako diskriminazioa. Katodoan zirkuitulaburrik ez dagoela baieztatu ondoren, ihesak detekta daitezke, eta ura sar daiteke katodoan, ur-ihesak dauden ala ez baieztatzeko.
5、 Helburua sputtering aurretik
Target pre sputtering-ak argon-sputtering hutsa defendatzen du, xedearen gainazala garbitu dezakeena. Helburua aurrez sputtertzen denean, sputtering potentzia poliki-poliki handitzea gomendatzen da, eta zeramikazko helburuaren potentzia handitzeko tasa 1.5WH / cm2 da. Metal-helburuaren aurre-sputtering-abiadura zeramikazko helburu-blokearena baino handiagoa izan daiteke eta zentzuzko potentzia handitzeko tasa 1.5WH / cm2 da.
Presputtering prozesuan, helburuaren arku-arkua egiaztatu behar dugu. Sputtering aurretiko denbora, oro har, 10 minutu ingurukoa da. Arku-fenomenorik ez badago, etengabe handitu sputtering potentzia
Ezarritako potentziara. Esperientziaren arabera, metalezko helburuaren Z sputtering potentzia altua onargarria da
25 watt / cm2, 10 watt / cm2 zeramikazko helbururako. Mesedez, ikusi erabiltzailearen sistemaren funtzionamendu-eskuliburuan sputtering zehar huts-ganberaren presioaren ezarpenaren oinarria eta esperientzia. Orokorrean, hozte-uraren irteerako uraren tenperatura 35 ℃ baino txikiagoa izan behar dela ziurtatu behar da, baina garrantzitsua da ura hozteko zirkulazio-sistemak eraginkortasunez funtziona dezakeela ziurtatzea.
Superhoztutako uraren zirkulazio azkarrak beroa kentzen du, hau da, potentzia handiko sputtering etengabea bermatzeko berme garrantzitsua. Metalezko helburuetarako, oro har, hozteko uraren emaria dela defendatzen da
20lpm uraren presioa 5gmp ingurukoa da; Zeramikazko helburuetarako, oro har, uraren emaria 30 lpm eta uraren presioa 9gmp ingurukoa dela defendatzen da.
6、 Helburua mantentzea
Sputtering-prozesuan barrunbe garbiak eragindako zirkuitu laburrak eta arkuak saihesteko, beharrezkoa da sputtering-bidearen erdian eta bi alboetan pilatutako sputter-a fasetan kentzea,
Horrek ere laguntzen die erabiltzaileei potentzia dentsitate handiko z etengabe sputter egiten
7、 Helburu biltegiratzea
Gaozhan metalak eskaintzen dituen helburuak geruza bikoitzeko plastikozko poltsetan ontziratzen dira. Erabiltzaileek helburuak, metalezkoak edo zeramikazkoak izan, hutseko ontzietan edukitzea defendatzen dugu. Bereziki, lotura-helburuak huts-baldintzetan gorde behar dira lotura-geruzaren oxidazioak lotura-kalitateari eragin diezaion. Metalezko helburuen ontziratzeari dagokionez, Z plastikozko poltsa garbietan ontziratu behar dela defendatzen dugu
Argitalpenaren ordua: 2022-05-13