Sputtering xede-teknologiaren aplikazioari eta printzipioari buruz, bezero batzuek RSMri kontsultatu diote, eta orain gehiago kezkatzen duen arazo honengatik, aditu teknikoek erlazionatutako ezagutza zehatz batzuk partekatzen dituzte.
Sputtering xede aplikazioa:
Karga-partikulek (adibidez, argon ioiak) gainazal solido bat bonbardatzen dute, eta, ondorioz, gainazaleko partikulak, hala nola atomoak, molekulak edo sortak, objektuaren gainazaletik ihes egiten dute "sputtering" izeneko fenomenoa. Magnetron sputtering estalduran, argonaren ionizazioak sortutako ioi positiboak solidoa (helburua) bonbardatzeko erabiltzen dira normalean, eta sputteratutako atomo neutroak substratuan (lan-pieza) metatzen dira film geruza bat osatzeko. Magnetron sputtering estaldurak bi ezaugarri ditu: "tenperatura baxua" eta "bizkorra".
Magnetron sputtering printzipioa:
Eremu magnetiko ortogonala eta eremu elektrikoa gehitzen dira sputtered xede-poloaren (katodoa) eta anodoaren artean, eta behar den gas geldoa (normalean Ar gasa) huts handiko ganbaran betetzen da. Iman iraunkorrak 250-350 Gauss-eko eremu magnetikoa eratzen du xede-materialaren gainazalean, eta eremu elektromagnetiko ortogonal bat eratzen du tentsio handiko eremu elektrikoarekin.
Eremu elektrikoaren eraginez, Ar gasa ioi positibo eta elektroietan ionizatzen da, eta helburuan presio negatibo handia dago, beraz, xede polotik igortzen diren elektroiak eremu magnetikoaren eta lanaren ionizazio probabilitatearen eraginpean daude. gasa handitzen da. Dentsitate handiko plasma bat sortzen da katodotik gertu, eta Ar ioiak helburuko gainazalera bizkortzen dira Lorentz-en indarraren eraginez eta helburuaren gainazala abiadura handian bonbardatzen dute, helburuko atomoek helburuko gainazaletik ihes egin dezaten. energia zinetikoa eta substratura hegan egiten du film bat osatzeko momentu-konbertsioaren printzipioaren arabera.
Magnetron sputtering orokorrean bi motatan banatzen da: DC sputtering eta RF sputtering. DC sputtering ekipoaren printzipioa sinplea da, eta tasa azkarra da metala sputtering denean. RF sputtering erabilera zabalagoa da, material eroaleak sputtering gain, baina baita material ez-eroaleak sputtering, baina baita oxido, nitruro eta karburo eta beste material konposatuen sputtering erreaktiboa prestatzeko. RF maiztasuna handitzen bada, mikrouhinen plasma sputtering bihurtzen da. Gaur egun, elektroi ziklotroi erresonantzia (ECR) motako mikrouhinen plasma sputtering erabiltzen da normalean.
Argitalpenaren ordua: 2022-01-01