Sputtering teknologiaren eta sputtering xedearen eta haien aplikazioen arteko desberdintasunak

Denok dakigu sputtering film materialak prestatzeko teknologia nagusietako bat dela. Ioi-iturburuak sortutako ioiak erabiltzen ditu hutsean agregazioa azkartzeko abiadura handiko ioi izpi bat osatzeko, gainazal solidoa bonbardatzeko eta ioiek gainazal solidoko atomoekin energia zinetikoa trukatzen dute, solidoaren atomoek gainazalean solidoa utzi eta substratuaren gainazalean utzi. Bonbardatutako solidoa sputtering bidez filma metatzeko lehengaia da, hau da, sputtering helburua deritzo.

Sputtered film material mota asko erabili dira erdieroaleen zirkuitu integratuetan, grabazio euskarrietan, pantaila planaretan, erreminta eta trokelen gainazaleko estalduran eta abarretan.

Sputtering helburuak elektronika eta informazioaren industrian erabiltzen dira batez ere, hala nola, zirkuitu integratuak, informazioa biltegiratzea, kristal likidoen pantailak, laser memoriak, kontrol elektronikoko ekipoak, etab. Beira estalduraren arloan ere erabil daiteke; Higadura erresistenteak diren materialetan, tenperatura altuko korrosioarekiko erresistentzian, goi-mailako dekorazio produktuetan eta beste industria batzuetan ere erabil daiteke.

Sputtering helburuak mota asko daude, eta helburuak sailkatzeko metodo desberdinak daude:

Konposizioaren arabera, helburu metalikoa, aleazio helburua eta zeramikazko helburu konposatuetan bana daiteke.

Formaren arabera, helburu luzean, helburu karratuan eta helburu biribiletan bana daiteke.

Helburu mikroelektronikoan, grabazio magnetikoaren xedean, disko optikoaren xedean, metal preziatuen xedean, filmaren erresistentzian xedean, film eroalearen xedean, gainazalean aldatzeko xedean, maskararen xedean, geruza apaingarriaren xedean, elektrodoen xedean eta beste helburu batzuetan banatu daiteke aplikazio eremuaren arabera.

Aplikazio desberdinen arabera, erdieroaleekin erlazionatutako zeramikazko helburuetan bana daiteke, zeramikazko helburu ertainak grabatzen, bistaratzeko zeramikazko helburuetan, zeramikazko helburu supereroaleetan eta magnetoresistentzia zeramikazko helburu erraldoietan.