Denok dakigunez, sputtering helburuen zehaztapen asko daude, eta haien aplikazio-eremuak ere oso zabalak dira. Alor ezberdinetan erabili ohi diren helburu motak ere desberdinak dira. Gaur, ikas dezagun sputtering helburuko aplikazio-eremuen sailkapenari buruz RSM-ren editorearekin!
1、 Sputtering xedearen definizioa
Sputtering film meheko materialak prestatzeko teknologia nagusietako bat da. Ioi iturriak sortutako ioiak azeleratzeko eta hutsean biltzeko erabiltzen ditu abiadura handiko ioi-sorta bat osatzeko, gainazal solidoa bonbardatzeko eta ioiek energia zinetikoa trukatzen dute gainazal solidoko atomoekin, solidoaren atomoek azalera solidotik bereizten dira eta substratuaren gainazalean metatzen dira. Bonbardatutako solidoa sputtering bidez metatutako film mehea prestatzeko lehengaia da, hau da, sputtering helburua deritzo.
2、 Sputtering helburuko aplikazio eremuen sailkapena
1. Helburu erdieroalea
(1) Helburu komunak: eremu honetako helburu arruntak urtze-puntu handiko metalak dira, hala nola tantalioa / kobrea / titanioa / aluminioa / urrea / nikela.
(2) Erabilera: nagusiki zirkuitu integratuetarako lehengai nagusi gisa erabiltzen da.
(3) Errendimendu-baldintzak: garbitasun, tamaina, integrazio eta abarretarako baldintza tekniko altuak.
2. Pantaila lauko pantailaren helburua
(1) Helburu komunak: eremu honetako helburu arruntak aluminioa / kobrea / molibdenoa / nikela / niobioa / silizioa / kromoa, etab.
(2) Erabilera: helburu mota hau gehienbat eremu handiko filmetarako erabiltzen da, hala nola telebistak eta koadernoak.
(3) Errendimendu-baldintzak: garbitasun-baldintza handiak, eremu handia, uniformetasuna, etab.
3. Eguzki-zelularen xede-materiala
(1) Helburu arruntak: aluminioa / kobrea / molibdenoa / kromoa / ITO / Ta eta eguzki-zelulen beste helburu batzuk.
(2) Erabilera: batez ere "leiho geruza", hesi-geruza, elektrodo eta film eroalean erabiltzen da.
(3) Errendimendu-baldintzak: eskakizun tekniko altuak eta aplikazio-eskaintza zabala.
4. Informazioa gordetzeko xedea
(1) Helburu komunak: kobaltoa / nikela / ferroaleazioa / kromoa / telurioa / selenioa eta informazioa biltegiratzeko beste material batzuk.
(2) Erabilera: xede-material mota hau buru magnetikoan, erdiko geruza eta beheko geruza unitate optikoaren eta disko optikoaren buru magnetikorako erabiltzen da.
(3) Errendimendu-baldintzak: biltegiratze-dentsitate handia eta transmisio-abiadura handia behar dira.
5. Erreminta aldatzeko helburua
(1) Helburu komunak: erremintek aldatutako titanio / zirkonio / kromo aluminio aleazioa bezalako helburu arruntak.
(2) Erabilera: normalean gainazala sendotzeko erabiltzen da.
(3) Errendimendu-baldintzak: errendimendu handiko baldintzak eta zerbitzu-bizitza luzea.
6. Gailu elektronikoen helburuak
(1) Helburu komunak: gailu elektronikoetarako aluminiozko aleazio / siliziozko helburu arruntak
(2) Helburua: orokorrean film meheko erresistentzietarako eta kondentsadoreetarako erabiltzen da.
(3) Errendimendu baldintzak: tamaina txikia, egonkortasuna, erresistentzia baxuko tenperatura-koefizientea
Argitalpenaren ordua: 2022-07-27